เครื่องวัดวงวนฮิสเทอรีซิสระดับเวเฟอร์สำหรับการวัดทางแม่เหล็กแบบไม่สัมผัส

คําอธิบายสินค้า:

อุปกรณ์วัดวงจร Hysteresis ระดับ Wafer เป็นเครื่องมือที่มีความทันสมัยที่ออกแบบมาเพื่อการระบุลักษณะของคุณสมบัติแม่นยําและมีประสิทธิภาพในระดับ waferอุปกรณ์นี้มีความจําเป็นสําหรับอุตสาหกรรมที่ต้องการการวัดที่แม่นยําและน่าเชื่อถือเพื่อการควบคุมคุณภาพและวัตถุประสงค์ของการวิจัย.

หนึ่งในลักษณะสําคัญของผลิตภัณฑ์นี้คือความสามารถในการซ้ําตัวอย่างที่โดดเด่น ที่ดีกว่า 10 μm ระดับความแม่นยํานี้รับประกันผลที่ตรงกันและน่าเชื่อถือสําคัญในการวิเคราะห์คุณสมบัติแม่เหล็กด้วยความแม่นยําสูง.

ในส่วนของความสอดคล้องขนาดตัวอย่าง เครื่องมือนี้มีความหลากหลายและรองรับตัวอย่างสูงถึง 12 นิ้วและต่ํากว่า นอกจากนี้ยังสามารถจัดการกับการทดสอบชิ้นส่วนให้ความยืดหยุ่นในการเตรียมตัวอย่างและวิธีการทดสอบ.

อุปกรณ์วัดวงจรไฮสเตรซิสระดับกระดานมีความสามารถในสนามแม่เหล็กที่แข็งแรง, มีช่วงตั้ง ± 2.4 T และช่วงในระนาบ ± 1.3 Tความเข้มข้นของสนามแม่เหล็กเหล่านี้ ทําให้สามารถประเมินคุณภาพของวัสดุแม่เหล็กได้อย่างครบถ้วนทําให้มันเป็นเครื่องมือที่เหมาะสมสําหรับการประกอบลักษณะแม่เหล็กระดับเวฟเฟอร์

เพื่อความสะดวกและประสิทธิภาพเพิ่มขึ้น EFEM (Equipment Front End Module) เป็นตัวเลือกกับอุปกรณ์นี้ การบูรณาการ EFEM ทําให้กระบวนการทดสอบเรียบง่ายขึ้นและเพิ่มผลผลิตภาพโดยรวมโดยเฉพาะในสภาพแวดล้อมการผลิตที่มีผลิตสูง.

ประสิทธิภาพการทดสอบเป็นลักษณะที่โดดเด่นของเครื่องมือนี้ ซึ่งให้ความเร็วในการทดสอบ 12 WPH (Wafers Per Hour) ที่ ±1.3 T กับการวัด 9 สถานที่บนแผ่น 200 มิลลิเมตรความสามารถในการทดสอบที่สูงนี้ทําให้เครื่องมือเหมาะสําหรับการทดสอบ MOKE (Magnetoptical Kerr Effect) ของสายการผลิตซึ่งการวัดที่รวดเร็วและน่าเชื่อถือเป็นสิ่งจําเป็น

ลักษณะ:

• ชื่อสินค้า: อุปกรณ์วัดวงจร Hysteresis ระดับกระบอก
• ความละเอียดของสนามแม่เหล็ก: PID ปิดวงจร Feedback Regulation, 0.01 mT
• ปฏิบัติการทดสอบ:
  • การวัดวงจร Hysteresis ไม่ทําลายล้างของ Magnetic Stacks / Devices
  • การสกัดข้อมูลวงจร Hysteresis อัตโนมัติ (ชั้นฟรีและชั้นที่ติด Hc, Hex, M (ค่ามุม Kerr)
  • การสร้างแผนที่รวดเร็วของการกระจายลักษณะแม่เหล็กของแผ่น
• การซ้ําตัวอย่าง: ดีกว่า 10 μm
• สนามแม่เหล็ก: สูง ±2.4 T; ในระนาบ ±1.3 T
• ความละเอียดมุมเคอร์: 0.3 Mdeg (RMS)

ปริมาตรเทคนิค:

การใช้งาน:

Wafer-MOKE ของ Truth Instruments เป็นเครื่องมือการวัดแม่เหล็กที่มีความทันสมัยที่ออกแบบมาเพื่อการวัดวงจร hysteresis ที่แม่นยําในสถานการณ์ที่หลากหลายด้วยความสามารถที่พิเศษและคุณสมบัติที่ทันสมัยอุปกรณ์นี้เหมาะสําหรับหลายๆ กรณีและกรณีการใช้สินค้า

มาจากประเทศจีน วอฟเฟอร์-MOKE ถูกออกแบบมาเพื่อให้มีผลงานและประสิทธิภาพที่ไม่มีคู่แข่ง3 T / 9 สถานที่การวัด/200 มม วอฟเฟอร์รับประกันกระบวนการทดสอบที่รวดเร็วและแม่นยําทําให้มันเป็นทรัพย์สินที่มีค่าในสถานศึกษาวิจัย โรงงานผลิต และสถาบันวิชาการ

หนึ่งในลักษณะที่โดดเด่นของผลิตภัณฑ์นี้คือความเหมือนกันของสนามแม่เหล็กที่โดดเด่น มากกว่า ± 1% @ Φ1 มม.ระดับความแม่นยํานี้เป็นสิ่งจําเป็นสําหรับการใช้งานที่ต้องการความสม่ําเสมอและความน่าเชื่อถือเช่น การทดสอบ MRAM และการประกอบลักษณะของวัสดุแม่เหล็ก

Wafer-MOKE มีความสามารถด้านสนามแม่เหล็กที่แข็งแกร่ง มีความสามารถด้านตั้ง ±2.4 T และในระนาบ ±1.3 T ความยืดหยุ่นนี้ทําให้ผู้ใช้สามารถดําเนินการทดลองและการวัดที่หลากหลาย,เพื่อตอบสนองความต้องการด้านการวิจัยที่หลากหลาย

อุปกรณ์นี้มีความละเอียดมุมเคอร์ 0.3 มิลลิเมตร (RMS) และมีความแม่นยําอย่างพิเศษในการจับความแตกต่างทางแม่เหล็กที่ละเอียดนักวิจัยและนักวิทยาศาสตร์ที่ทํางานเกี่ยวกับการศึกษาด้านแม่เหล็กและการวิเคราะห์วัสดุจะพบว่า Wafer-MOKE เป็นสิ่งจําเป็นสําหรับโครงการของพวกเขา.

นอกจากนี้ ความเข้ากันของเครื่องมือกับขนาดตัวอย่างสูงถึง 12 นิ้วและต่ํากว่า และการสนับสนุนในการทดสอบชิ้นส่วนเพิ่มความสามารถและการใช้งานของมันมากขึ้นไม่ว่าจะเป็นการวิเคราะห์ชิ้นส่วนเล็ก ๆ หรือโอฟเฟอร์ขนาดใหญ่, วอเฟอร์-MOKE ให้ความยืดหยุ่นที่จําเป็นสําหรับการวัดแม่เหล็กที่ครบวงจร

สรุปคือ วอเฟอร์-MOKE ของทรูท อินสตรัมเม้นท์ เป็นผลิตภัณฑ์ที่ทันสมัย ที่โดดเด่นในแอพลิเคชั่น MOKE ระดับวอเฟอร์ ทําให้มันเป็นเครื่องมือที่จําเป็นสําหรับการวัดแม่เหล็ก การทดสอบ MRAMและความพยายามวิจัยต่าง ๆ.