비접촉 자기 측정용 웨이퍼 스케일 히스테레시스 루프 추적기

제품 설명:

웨이퍼 레벨 히스테리시스 루프 측정 장비는 웨이퍼 레벨에서 자기적 특성을 정확하고 효율적으로 특성화하도록 설계된 최첨단 도구입니다. 이 장비는 품질 관리 및 연구 목적으로 정확하고 신뢰할 수 있는 측정이 필요한 산업에 필수적입니다.

이 제품의 주요 특징 중 하나는 10 μm보다 우수한 뛰어난 샘플 반복성입니다. 이 정밀도는 일관되고 신뢰할 수 있는 결과를 보장하며, 높은 정확도로 자기적 특성을 분석하는 데 매우 중요합니다.

샘플 크기 호환성과 관련하여 이 장비는 다재다능하며 최대 12인치 이하의 샘플을 지원합니다. 또한 조각 테스트를 처리할 수 있어 샘플 준비 및 테스트 절차에서 유연성을 제공합니다.

웨이퍼 레벨 히스테리시스 루프 측정 장비는 ±2.4 T의 수직 범위와 ±1.3 T의 평면 내 범위를 갖춘 강력한 자기장 기능을 자랑합니다. 이러한 자기장 강도는 자기 재료의 포괄적인 특성화를 가능하게 하여 웨이퍼 레벨 자기 특성화에 이상적인 도구입니다.

편의성과 효율성을 높이기 위해 이 장비에는 EFEM(장비 프론트 엔드 모듈)이 옵션으로 제공됩니다. EFEM 통합은 테스트 프로세스를 간소화하고 특히 높은 처리량의 생산 환경에서 전반적인 생산성을 향상시킵니다.

테스트 효율성은 이 장비의 뛰어난 특징으로, 200mm 웨이퍼에서 9개 사이트 측정으로 ±1.3 T에서 12 WPH(시간당 웨이퍼)의 테스트 속도를 제공합니다. 이 높은 테스트 처리량은 빠르고 신뢰할 수 있는 측정이 필수적인 생산 라인 MOKE(Magneto-Optical Kerr Effect) 테스트에 적합합니다.

특징:

• 제품명: 웨이퍼 레벨 히스테리시스 루프 측정 장비
• 자기장 해상도: PID 폐루프 피드백 조절, 0.01 mT
• 테스트 기능:
  • 자기 스택/장치의 비파괴 히스테리시스 루프 측정
  • 히스테리시스 루프 정보 자동 추출(자유층 및 고정층 Hc, Hex, M(Kerr 각도 값))
  • 웨이퍼 자기 특성 분포의 신속한 매핑
• 샘플 반복성: 10 μm보다 우수
• 자기장: 수직 ±2.4 T; 평면 내 ±1.3 T
• Kerr 각도 해상도: 0.3 Mdeg (RMS)

기술 매개변수:

응용 분야:

Truth Instruments의 Wafer-MOKE는 다양한 시나리오에서 정확한 히스테리시스 루프 측정을 위해 설계된 최첨단 자기 계측 도구입니다. 뛰어난 기능과 고급 기능을 갖춘 이 장비는 다양한 제품 응용 사례 및 시나리오에 이상적입니다.

중국에서 시작된 Wafer-MOKE는 타의 추종을 불허하는 성능과 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 12 WPH@±1.3 T / 9개 사이트 측정 / 200mm 웨이퍼의 높은 테스트 효율성은 빠르고 정확한 테스트 프로세스를 보장하여 연구 시설, 제조 공장 및 학술 기관에서 귀중한 자산으로 만듭니다.

이 제품의 뛰어난 특징 중 하나는 ±1mm에서 ±1%를 초과하는 놀라운 자기장 균일성입니다. 이 정밀도는 MRAM 테스트 및 자기 재료 특성화와 같이 일관성과 신뢰성이 필요한 응용 분야에 필수적입니다.

Wafer-MOKE는 수직 ±2.4 T 및 평면 내 ±1.3 T 기능을 갖춘 강력한 자기장 용량을 자랑합니다. 이러한 유연성을 통해 사용자는 광범위한 실험과 측정을 수행하여 다양한 연구 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

0.3 Mdeg(RMS)의 Kerr 각도 해상도를 갖춘 이 장비는 미묘한 자기적 변화를 포착하는 데 탁월한 정확성을 제공합니다. 자기 도메인 연구 및 재료 분석을 수행하는 연구원과 과학자는 Wafer-MOKE가 프로젝트에 필수적이라는 것을 알게 될 것입니다.

또한 최대 12인치 이하의 샘플 크기와의 호환성, 조각 테스트 지원은 유연성과 적용 가능성을 더욱 향상시킵니다. 작은 조각이나 더 큰 웨이퍼를 분석하든 Wafer-MOKE는 포괄적인 자기 측정을 위해 필요한 유연성을 제공합니다.

결론적으로, Truth Instruments Wafer-MOKE는 웨이퍼 스케일 MOKE 응용 분야에서 뛰어난 최첨단 제품으로, 자기 계측, MRAM 테스트 및 다양한 연구 노력에 필수적인 도구입니다.