ওয়েফার লেভেল অ্যাটমিক ফোর্স মাইক্রোস্কোপ 0.1Hz - 30Hz প্রোব মাইক্রোস্কোপ
ওয়েফার লেভেল অ্যাটমিক ফোর্স মাইক্রোস্কোপ
,অ্যাটমিক ফোর্স মাইক্রোস্কোপ 0.1Hz
,30Hz প্রোব মাইক্রোস্কোপ
মৌলিক বৈশিষ্ট্য
বাণিজ্যিক সম্পত্তি
অ্যাটম্যাক্স
মাইক্রো-ক্যান্টিলিভার প্রোব স্ট্রাকচার ব্যবহার করে এই যন্ত্রটি পরিবাহী, অর্ধপরিবাহী এবং নিরোধক শক্ত পদার্থের 3 ডি মর্ফোলজি চরিত্রগতকরণ সক্ষম করে,ওয়েফার স্তরের বড় নমুনার মরফোলজি চরিত্রগতকরণ অর্জন করা. একটি অপটিক্যাল ইমেজ সঙ্গে মিলিত, বৈদ্যুতিক চালিত নমুনা অবস্থান পর্যায় একটি 200 x 200 মিমি এলাকায় 1 μm অবস্থান সঠিকতা জন্য অনুমতি দেয়। লেজার সারিবদ্ধকরণ জন্য সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় অপারেশন সঙ্গে,প্রোব পদ্ধতির, এবং স্ক্যানিং পরামিতি সমন্বয়.
প্যারামিটার | স্পেসিফিকেশন |
---|---|
নমুনার আকার | ৮ ইঞ্চি ওভারের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ |
স্ক্যানিং রেঞ্জ | সর্বোচ্চ ১০০ মাইক্রোমিটার * ১০০ মাইক্রোমিটার * ৯১০ মাইক্রোমিটার |
স্ক্যানিং কোণ | 0 ~ 360 " |
রেজোলিউশন | Z-অক্ষ বন্ধ লুপ রেজোলিউশন 0.15 nm; X/Y বন্ধ লুপ রেজোলিউশন 0.5 nm |
স্ক্যানিং প্রোব এক্সওয়াই দিক চিত্র রেজোলিউশন | কমপক্ষে ৩২x৩২~৪০০০x৪০০০ |
অপারেটিং মোড | যোগাযোগ মোড, ট্যাপিং মোড, ফেজ ইমেজিং মোড, লিফট মোড, মাল্টি-ডাইরেকশনাল স্ক্যানিং মোড |
মাল্টি-ফাংশন পরিমাপ | EFM,KFM,PFM,MFM |
- আউ-টি-স্ট্রিপ ইলেক্ট্রোড শীটের সম্ভাব্যতা
- স্ক্যানিং মোডঃ কেপিএফএম (লিফট মোড)
- স্ক্যানিং রেঞ্জঃ 18μm * 18μmটাইটানিয়াম ফিল্ম - অ্যালুমিনিয়াম টাইটান্যাট ফিল্ম
- আউ-টি-স্ট্রিপ ইলেক্ট্রোড শীটের ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক শক্তি
- স্ক্যানিং মোডঃ ইএফএম (লিফট মোড)
- স্ক্যানিং রেঞ্জঃ 18μm * 18μm
- ফেনি-নি পাতলা ফিল্মে চৌম্বকীয় ডোমেইন
- স্ক্যানিং মোডঃ এমএফএম (লিফট মোড)
- স্ক্যানিং রেঞ্জঃ 14μm * 14μm
- PbTiO3-পিজো ইলেকট্রিক সংশ্লিষ্ট উল্লম্ব ব্যাপ্তি চিত্র
- স্ক্যানিং মোডঃ PFM (যোগাযোগ মোড)
- স্ক্যানিং রেঞ্জঃ 20μm * 20μm

- Co/Pt পাতলা ফিল্ম
- স্ক্যানিং মোডঃ ম্যাগনেটিক ফোর্স মাইক্রোস্কোপ (এমএফএম)
- স্ক্যানিং রেঞ্জঃ 25 μm * 25 μm