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ウェーハレベル原子間力顕微鏡 0.1Hz - 30Hz プローブ顕微鏡
Wafer-Level Atomic Force Microscope Product Model: AtomMax Product Overview: Using micro-cantilever probe structures, this instrument enables 3D morphology characterization of conductive, semiconductive, and insulating solid materials, achieving wafer-level large-sample morphology characterization. Combined with an optical image, the electrically driven sample positioning stage allows for 1 μm positioning accuracy within a 200 x 200 mm area. with fully automated operations
製品詳細
ハイライト:
ウェーハレベル原子間力顕微鏡
,原子間力顕微鏡 0.1Hz
,30Hz プローブ顕微鏡
Name:
原子間顕微鏡
Scanning Angle:
0〜360 "
Scanning Range:
最大100μm *100μm *910μm
Sample Size:
8インチウェーハ以下と互換性があります
Multi-Function Measurement:
EFM、KFM、PFM、MFM
Scan Speed:
0.1Hz-30Hz
基本的な特性
原産地:
中国
ブランド名:
Truth Instruments
モデル番号:
Atomedge Pro
取引物件
最小注文数量:
1
価格:
Price Negotiable | Contact us for a detailed quote
支払条件:
T/T
製品の説明
ウェーハレベル原子間力顕微鏡
製品モデル:
AtomMax
製品概要:
マイクロカンチレバープローブ構造を使用し、導電性、半導電性、絶縁性の固体材料の3D形態特性評価を可能にし、ウェーハレベルの大サンプル形態特性評価を実現します。光学画像と組み合わせることで、電気駆動のサンプル位置決めステージにより、200 x 200 mmの範囲内で1μmの位置決め精度を実現します。レーザーアライメント、プローブアプローチ、スキャンパラメータ調整の全自動操作が可能です。
機器性能仕様
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| サンプルサイズ | 8インチウェーハ以下に対応 |
| スキャン範囲 | 最大100μm * 100μm * 910μm |
| スキャン角度 | 0〜360" |
| 分解能 | Z軸クローズドループ分解能0.15 nm; X/Yクローズドループ分解能0.5 nm |
| スキャンプローブXY方向画像分解能 | 32x32〜4000x4000以上 |
| 動作モード | コンタクトモード、タッピングモード、位相イメージングモード、リフトモード、多方向スキャンモード |
| 多機能測定 | EFM、KFM、PFM、MFM |
アプリケーション事例
- Au-Tiストリップ電極シートの可能性
- スキャンモード：KPFM（リフトモード）
- スキャン範囲：18μm * 18μmチタンフィルム - アルミニウムチタン酸フィルム
- Au-Tiストリップ電極シートの静電界
- スキャンモード：EFM（リフトモード）
- スキャン範囲：18μm * 18μm
- Fe-Ni薄膜の磁気ドメイン
- スキャンモード：MFM（リフトモード）
- スキャン範囲：14μm * 14μm
- PbTiO3圧電素子対応の垂直振幅画像
- スキャンモード：PFM（コンタクトモード）
- スキャン範囲：20μm * 20μm
- Co/Pt薄膜
- スキャンモード：磁気力顕微鏡（MFM）
- スキャン範囲：25μm * 25μm
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