웨이퍼 레벨 원자력 현미경 0.1Hz - 30Hz 프로브 현미경
Wafer-Level Atomic Force Microscope Product Model: AtomMax Product Overview: Using micro-cantilever probe structures, this instrument enables 3D morphology characterization of conductive, semiconductive, and insulating solid materials, achieving wafer-level large-sample morphology characterization. Combined with an optical image, the electrically driven sample positioning stage allows for 1 μm positioning accuracy within a 200 x 200 mm area. with fully automated operations
제품 상세정보
강조하다:
웨이퍼 레벨 원자력 현미경
,원자력 현미경 0.1Hz
,30Hz 프로브 현미경
Name:
원자력 현미경
Scanning Angle:
0 ~ 360 "
Scanning Range:
최대 100μm * 100μm * 910μm
Sample Size:
8 인치 웨이퍼 이하와 호환됩니다
Multi-Function Measurement:
EFM, KFM, PFM, MFM
Scan Speed:
0.1Hz-30Hz
기본 속성
원산지:
중국
브랜드 이름:
Truth Instruments
모델 번호:
Atomedge Pro
부동산 거래
최소 주문 수량:
1
가격:
Price Negotiable | Contact us for a detailed quote
지불 조건:
t/t
제품 설명
웨이퍼 수준의 원자력 현미경
제품 모델 :
Atommax
제품 개요 :
이 기기는 마이크로-캐니버 프로브 구조를 사용하여 전도성, 반도성 및 단열 된 고체 재료의 3D 형태 특성을 가능하게하여 웨이퍼 수준의 대형 샘플 형태 특성화를 달성 할 수 있습니다. 광학 이미지와 결합 된 전기 구동 샘플 위치 지정 단계는 200 x 200 mm 영역 내에서 1 μm 위치 정확도를 허용합니다. 레이저 정렬, 프로브 접근 및 스캔 매개 변수 조정에 대한 완전 자동화 작업.
장비 성능 사양
매개 변수 | 사양 |
---|---|
샘플 크기 | 8 인치 웨이퍼 이하와 호환됩니다 |
스캔 범위 | 최대 100μm * 100μm * 910μm |
스캔 각도 | 0 ~ 360 " |
해결 | Z 축 폐쇄 루프 해상도 0.15 nm; X/Y 폐 루프 해상도 0.5 nm |
스캔 프로브 XY 방향 LMAGE 해상도 | 32x32 ~ 4000x4000 이상 |
운영 모드 | 접촉 모드, 태핑 모드, 위상 이미징 모드, 리프트 모드, 다 방향 스캐닝 모드 |
다기능 측정 | EFM, KFM, PFM, MFM |
신청 사례
- Au-Ti 스트립 전극 시트의 잠재력
- 스캔 모드 : KPFM (리프트 모드)
- 스캐닝 범위 : 18μm * 18μmtitanium 필름 - 알루미늄 타이타 네이트 필름
- Au-Ti 스트립 전극 시트의 정전기력
- 스캔 모드 : EFM (리프트 모드)
- 스캐닝 범위 : 18μm * 18μm
- Fe-Ni 박막의 자기 도메인
- 스캔 모드 : MFM (리프트 모드)
- 스캐닝 범위 : 14μm * 14μm
- PBTIO3-PIEZOELECTRIC 상응하는 수직 진폭 이미지
- 스캔 모드 : PFM (Contact-Mode)
- 스캐닝 범위 : 20μm * 20μm

- CO/PT 박막
- 스캐닝 모드 : 자기 력 현미경 (MFM)
- 스캐닝 범위 : 25 μm * 25 μm
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