Microscópios de Força Atômica em Nível de Bolacha 0.1Hz - Microscópio de Sonda de 30Hz
Microscópios de Força Atômica em Nível de Bolacha
,Microscópios de Força Atômica 0.1Hz
,Microscópio de Sonda de 30Hz
Propriedades básicas
Propriedades comerciais
AtomMax
Utilizando estruturas de sonda de micro-cantilever, este instrumento permite a caracterização morfológica 3D de materiais sólidos condutores, semicondutores e isolantes,alcançar a caracterização da morfologia da amostra grande a nível da bolachaCombinado com uma imagem óptica, o estágio de posicionamento de amostras acionado eletricamente permite uma precisão de posicionamento de 1 μm numa área de 200 x 200 mm.,Aproximação da sonda e ajustes dos parâmetros de digitalização.
Parâmetro | Especificações |
---|---|
Tamanho da amostra | Compatível com wafers de 8 polegadas e inferiores |
Faixa de varredura | Máximo de 100 μm * 100 μm * 910 μm |
Ângulo de varredura | 0~360" |
Resolução | Resolução de circuito fechado do eixo Z 0,15 nm; resolução de circuito fechado X/Y 0,5 nm |
Proba de varredura Direcção XY Resolução da imagem | Não inferior a 32x32~4000x4000 |
Modos de funcionamento | Modo de contacto, modo de toque, modo de imagem de fase, modo de elevação, modo de digitalização multidireccional |
Medição multifunção | EFM,KFM,PFM,MFM |
- Potencial da folha de eletrodo de tira Au-Ti
- Modo de digitalização: KPFM (modo de elevação)
- Faixa de digitalização: 18μm * 18μmFilma de titânio - Filtro de titânio de alumínio
- Força eletrostática da folha de eléctrodo de tira Au-Ti
- Modo de digitalização: EFM (modo de elevação)
- Faixa de digitalização: 18 μm * 18 μm
- Domínios magnéticos em películas finas de Fe-Ni
- Modo de digitalização: MFM (modo de elevação)
- Faixa de digitalização: 14 μm * 14 μm
- Imagem de amplitude vertical PbTiO3-piezoelétrica correspondente
- Modo de digitalização: PFM (modo de contacto)
- Faixa de digitalização: 20 μm * 20 μm

- Co/Pt Filtro fino
- Modo de digitalização: Microscopia de força magnética (MFM)
- Faixa de digitalização: 25 μm * 25 μm