Kính viêm lực nguyên tử cấp wafer 0.1Hz - 30Hz Kính viêm thăm dò
Các kính hiển vi lực nguyên tử ở cấp wafer
,Máy hiển vi lực nguyên tử 0.1Hz
,Máy viêm thăm dò 30Hz
Các tính chất cơ bản
Giao dịch Bất động sản
AtomMax
Sử dụng các cấu trúc thăm dò micro-cantilever, thiết bị này cho phép mô hình học 3D mô tả các vật liệu rắn dẫn, bán dẫn và cách nhiệt,đạt được mô tả hình thái mẫu lớn ở mức waferKết hợp với một hình ảnh quang học, giai đoạn định vị mẫu chạy bằng điện cho phép chính xác định vị 1 μm trong khu vực 200 x 200 mm. với các hoạt động tự động hoàn toàn cho sự sắp xếp laser,phương pháp tiếp cận và điều chỉnh tham số quét.
Parameter | Thông số kỹ thuật |
---|---|
Kích thước mẫu | Tương thích với wafer 8 inch và dưới |
Phạm vi quét | Tối đa 100μm * 100μm * 910μm |
góc quét | 0~360" |
Nghị quyết | Độ phân giải vòng tròn kín của trục Z 0,15 nm; độ phân giải vòng tròn kín X/Y 0,5 nm |
Quét thăm dò hướng XY độ phân giải hình ảnh | Không ít hơn 32x32~4000x4000 |
Chế độ hoạt động | Chế độ tiếp xúc, chế độ chạm, chế độ hình ảnh pha, chế độ nâng, chế độ quét đa hướng |
Đo đa chức năng | EFM,KFM,PFM,MFM |
- Khả năng của tấm điện cực dải Au-Ti
- Chế độ quét: KPFM (chế độ nâng)
- Phạm vi quét: 18μm * 18μmTitanium Film - Aluminium Titanate Film
- Lực điện tĩnh của tấm điện cực dải Au-Ti
- Chế độ quét: EFM (chế độ nâng)
- Phạm vi quét: 18μm * 18μm
- Các lĩnh vực từ tính trong các tấm mỏng Fe-Ni
- Chế độ quét: MFM (chế độ nâng)
- Phạm vi quét: 14μm * 14μm
- Hình ảnh kích thước dọc tương ứng PbTiO3-piezoelectric
- Chế độ quét: PFM (chế độ tiếp xúc)
- Phạm vi quét: 20μm * 20μm

- Co/Pt phim mỏng
- Chế độ quét: Máy hiển vi lực từ (MFM)
- Phạm vi quét: 25 μm * 25 μm