Mikroskope zur Erfassung der atomaren Kräfte auf Waferebene

Name: Mikroskope zur Erfassung der atomaren Kräfte auf Waferebene
Brand: Truth Instruments Co., Ltd.
SKU: Atomedge Pro
Availability: InStock

Wafer-Level Atomic Force Microscope Product Model: AtomMax Product Overview: Using micro-cantilever probe structures, this instrument enables 3D morphology characterization of conductive, semiconductive, and insulating solid materials, achieving wafer-level large-sample morphology characterization. Combined with an optical image, the electrically driven sample positioning stage allows for 1 μm positioning accuracy within a 200 x 200 mm area. with fully automated operations

Umbauten:

AFM -Mikroskop

AFM Systeme

Rasterkraftmikroskop

Produktdetails

Hervorheben:

Atomkraftmikroskope auf Waferebene

Atomkraftmikroskope 0

1 Hz

Name: Atomarmikroskope

Scanning Angle: 0 ~ 360 "

Scanning Range: Maximal 100 μm * 100 μm * 910 μm

Sample Size: Kompatibel mit 8-Zoll-Wafern und darunter

Multi-Function Measurement: EFM, KFM, PFM, MFM

Scan Speed: 0,1 Hz-30 Hz

Grundlegende Eigenschaften

Herkunftsort: CHINA

Markenbezeichnung: Truth Instruments

Modellnummer: Atomedge Pro

Immobilienhandel

Mindestbestellmenge: 1

Preis: Price Negotiable | Contact us for a detailed quote

Zahlungsbedingungen: T/t

Produkt-Beschreibung

Atomkraftmikroskop auf Waferebene

Produktmodell:

Atommax

Produktübersicht:

Mithilfe von Mikro-Kantilever-Sondenstrukturen ermöglicht dieses Instrument die 3D-Morphologie-Charakterisierung von leitenden, semikondökonomischen und isolierenden festen Materialien, wodurch die Morphologie-Charakterisierung auf Waferebene erreicht wird. In Kombination mit einem optischen Bild ermöglicht die elektrisch angetriebene Probenpositionierungsstufe 1 & mgr; m Positionierungsgenauigkeit in einem Bereich von 200 x 200 mm. Mit vollständig automatisierten Vorgängen für Laserausrichtung, Sondenansatz und Scan -Parameteranpassung.Ments.

Ausrüstungsleistungspezifikationen

Parameter	Spezifikation
Probengröße	Kompatibel mit 8-Zoll-Wafern und darunter
Scanbereich	Maximal 100 μm * 100 μm * 910 μm
Scanwinkel	0 ~ 360 "
Auflösung	Z-Achse mit geschlossener Schleife von 0,15 nm; X/y Closed-Loop-Auflösung 0,5 nm
Scan -Sonde XY Richtung LMage Auflösung	Nicht weniger als 32x32 ~ 4000x4000
Betriebsmodi	Kontaktmodus, Tippmodus, Phasenbildgebungsmodus, Hubmodus, multidirektionaler Scanmodus
Multifunktionsmessung	EFM, KFM, PFM, MFM