Microscopes de force atomique de niveau de gaufre 0.1 Hz - 30 Hz Microscope de sonde
Microscopes de la force atomique au niveau des plaquettes
,Microscopes de force atomique 0
,1 Hz
Propriétés de base
Propriétés commerciales
Atommax
En utilisant des structures de sonde micro-canaillat, cet instrument permet la caractérisation de la morphologie 3D des matériaux solides conducteurs, semi-conducteurs et isolants, atteignant une caractérisation de morphologie à grande échantillon au niveau de la plaquette. Combiné avec une image optique, l'étape de positionnement de l'échantillon à entraînement électrique permet une précision de positionnement de 1 μm dans une zone de 200 x 200 mm. avec des opérations entièrement automatisées pour l'alignement laser, l'approche de sonde et le réglage des paramètres de balayage.
Paramètre | Spécification |
---|---|
Échantillon | Compatible avec des plaquettes de 8 pouces et en dessous |
Plage de balayage | Maximum 100 μm * 100 μm * 910 μm |
Angle de balayage | 0 ~ 360 " |
Résolution | Résolution en boucle fermée de l'axe z 0,15 nm; Résolution en boucle fermée x / y 0,5 nm |
Résolution de la sonde de la sonde de numérisation | Pas moins de 32x32 ~ 4000x4000 |
Modes de fonctionnement | Mode de contact, mode de taraudage, mode d'imagerie de phase, mode de levage, mode de balayage multidirectionnel |
Mesure multifonction | EFM, KFM, PFM, MFM |
- Potentiel de la feuille d'électrode à bande AU-Ti
- Mode de balayage: KPFM (mode de levage)
- Plage de balayage: 18 μm * 18 μmtitanium Film - Film de titanate en aluminium
- Force électrostatique de la feuille d'électrode à bande AU-Ti
- Mode de balayage: EFM (mode de levage)
- Plage de balayage: 18 μm * 18 μm
- Domaines magnétiques dans des films minces Fe-Ni
- Mode de balayage: MFM (mode de levage)
- Plage de balayage: 14 μm * 14 μm
- Image d'amplitude verticale correspondante de PBTIO3-PIEZOELLECTR
- Mode de numérisation: PFM (mode de contact)
- Plage de balayage: 20 μm * 20 μm

- CO / PT FILM
- Mode de balayage: microscopie à force magnétique (MFM)
- Plage de balayage: 25 μm * 25 μm