Μικροσκόπια Ατομικής Δύναμης Επιπέδου Wafer 0.1Hz - 30Hz
Μικροσκόπια Ατομικής Δύναμης Επιπέδου Ουφέρου
,Μικροσκόπια Ατομικής Δύναμης 0
,1 Hz
Βασικές ιδιότητες
Εμπορικά Ακίνητα
AtomMax
Χρησιμοποιώντας μικρο-κάντιλιβερ δομές ανίχνευσης, αυτό το όργανο επιτρέπει τον τρισδιάστατο μορφολογικό χαρακτηρισμό των αγωγών, ημιαγωγών και μονωτικών στερεών υλικών,επίτευξη μορφολογικού χαρακτηρισμού μεγάλου δείγματος σε επίπεδο πλακίδαςΣε συνδυασμό με μια οπτική εικόνα, το ηλεκτρικά κινούμενο στάδιο τοποθέτησης δείγματος επιτρέπει ακρίβεια τοποθέτησης 1 μm σε περιοχή 200 x 200 mm. με πλήρως αυτοματοποιημένες λειτουργίες για ευθυγράμμιση λέιζερ,Προσέγγιση του ανιχνευτή και προσαρμογή των παραμέτρων σάρωσης.
Παράμετρος | Προδιαγραφές |
---|---|
Μέγεθος δείγματος | Συμβατό με πλακίδια 8 ιντσών και κάτω |
Πεδίο σάρωσης | Μέγιστο 100μm * 100μm * 910μm |
Γωνία σάρωσης | 0~360" |
Απόφαση | Η ανάλυση κλειστού βρόχου στον άξονα Z είναι 0,15 nm· η ανάλυση κλειστού βρόχου X/Y είναι 0,5 nm |
Σκανάρισμα ανιχνευτή XY Κατεύθυνση | Τουλάχιστον 32x32~4000x4000 |
Τρόποι λειτουργίας | Τρόπος επαφής, λειτουργία κρούσης, λειτουργία απεικόνισης φάσης, λειτουργία ανύψωσης, λειτουργία πολλαπλής κατεύθυνσης σάρωσης |
Πολυλειτουργική μέτρηση | ΕΠΜ,ΚΑΜ,ΠΑΜ,ΜΑΜ |
- Δυναμικό του φύλλου ηλεκτροδίου ταινίας Au-Ti
- Τρόπος σάρωσης: KPFM (τρόπος ανύψωσης)
- Πεδίο σάρωσης: 18μm * 18μmΤίτανιο φιλμ - Τιτανικό φιλμ αλουμινίου
- Ηλεκτροστατική δύναμη του φύλλου ηλεκτροδίου ταινίας Au-Ti
- Τρόπος σάρωσης: EFM (τρόπος ανύψωσης)
- Πεδίο σάρωσης: 18μm * 18μm
- Μαγνητικές περιοχές σε λεπτές ταινίες Fe-Ni
- Τρόπος σάρωσης: MFM (τρόπος ανύψωσης)
- Περιοχή σαρώσεως: 14μm * 14μm
- Εικόνα κάθετου αντιστοίχου πλάτους PbTiO3-πηζοηλεκτρικής
- Τρόπος σάρωσης: PFM (τρόπος επαφής)
- Πεδίο σάρωσης: 20μm * 20μm

- Co/Pt λεπτή ταινία
- Τρόπος σάρωσης: Μαγνητική μικροσκόπηση (MFM)
- Περιοχή σάρωσης: 25 μm * 25 μm