ওয়েফার লেভেল হিস্টেরেসিস লুপ ইন্সট্রুমেন্ট নন ডেস্ট্রাকটিভ ওয়েফার পরিমাপ সিস্টেম
ওয়েফার লেভেল হিস্টেরেসিস লুপ ইন্সট্রুমেন্ট
,নন ডেস্ট্রাকটিভ ওয়েফার পরিমাপ সিস্টেম
,নন ডেস্ট্রাকটিভ হিস্টেরেসিস লুপ ইন্সট্রুমেন্ট
মৌলিক বৈশিষ্ট্য
বাণিজ্যিক সম্পত্তি
মেরু/অনুদৈর্ঘ্য চৌম্বকীয়-অপটিক্যাল কের এফেক্টস (এমওকে) ব্যবহার করে, এই যন্ত্রটি দ্রুত এবং বিশ্বব্যাপী ওয়েফার ফিল্মগুলির চৌম্বকীয়তা সনাক্ত করে। অ-যোগাযোগের পরিমাপ ওয়েফার ক্ষতি এড়ায় এবং স্পিন চিপ উত্পাদনে পোস্ট-প্যাটার্নিং নমুনা পরীক্ষার জন্য উপযুক্ত। এটি 2.5 টি পর্যন্ত একটি উল্লম্ব চৌম্বকীয় ক্ষেত্র এবং 1.4 টি পর্যন্ত একটি ইন-প্লেন চৌম্বকীয় ক্ষেত্র সরবরাহ করে, দৃ strong ় চৌম্বকীয় ক্ষেত্রগুলি উল্লম্বভাবে অ্যানিসোট্রপিক চৌম্বকীয় অ্যাক্সেস র্যান্ডম মেমরি (এমআরএএম) ফিল্ম স্ট্যাকগুলিতে ফ্রি এবং রেফারেন্স স্তর ফ্লিপিংকে প্ররোচিত করে। অতি-উচ্চ কের সনাক্তকরণ সংবেদনশীলতা বিভিন্ন ফিল্ম স্তরগুলিতে সূক্ষ্ম চৌম্বকীয় পরিবর্তনের একক-সময়ের বৈশিষ্ট্যকে মঞ্জুরি দেয়। স্ক্যানিং ইমেজিংয়ের সাথে লেজারপয়েন্ট-বাই-পয়েন্ট প্রোবের সংমিশ্রণ বিশ্বব্যাপী ওয়েফার চৌম্বকীয় বৈশিষ্ট্যযুক্ত মানচিত্রের দ্রুত সৃষ্টি, সহায়তা প্রক্রিয়া অপ্টিমাইজেশন এবং ফলন নিয়ন্ত্রণকে সক্ষম করে।
সরঞ্জাম কর্মক্ষমতা সূচক | বর্ণনা |
---|---|
নমুনা আকার | 12 ইঞ্চি এবং নীচের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ, খণ্ড পরীক্ষা সমর্থন করে |
চৌম্বকীয় ক্ষেত্র | উল্লম্ব ± 2.4 টি; ইন-প্লেন ± 1.3 টি |
চৌম্বকীয় ক্ষেত্র রেজোলিউশন | পিড ক্লোজড-লুপ প্রতিক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ, 0.01 এমটি |
চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের অভিন্নতা | ± 1%@φ1 মিমি থেকে ভাল |
কের এঙ্গেল রেজোলিউশন | 0.3 এমডিইজি (আরএমএস) |
পরীক্ষার দক্ষতা | 12 wph@ph@1.3 টি /9 সাইট পরিমাপ /200 মিমি ওয়েফার |
নমুনা পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা | 10 μm এর চেয়ে ভাল |
আপটাইম | 90% |
এফেম | Al চ্ছিক |
পরীক্ষা ফাংশন | চৌম্বকীয় ফিল্ম স্ট্যাকস/ডিভাইসগুলির অ-ধ্বংসাত্মক হিস্টেরেসিস লুপ পরিমাপ, হিস্টেরেসিস লুপ তথ্যের স্বয়ংক্রিয় নিষ্কাশন (ফ্রি স্তর এবং পিনযুক্ত স্তর এইচসি, হেক্স, এম (কের এঙ্গেল মান)), এবং ওয়েফার চৌম্বকীয় বৈশিষ্ট্যযুক্ত বিতরণের দ্রুত ম্যাপিং |

হিস্টেরেসিস লুপ পরিমাপের ফলাফল উল্লম্ব এমআরএএম ফিল্ম স্ট্যাকের ফলাফল

হিস্টেরেসিস লুপ পরিমাপের ফলাফল ইন-প্লেন অ্যানিসোট্রপিক এমটিজে ফিল্ম স্ট্যাকস

বিভিন্ন স্ক্যানিং মোড

চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের বৈশিষ্ট্যযুক্ত বিতরণ মানচিত্র 12 ইঞ্চি উল্লম্বভাবে অ্যানিসোট্রপিক ওয়েফারের