English
Français
Deutsch
Italiano
Русский
Español
Português
Nederlandse
Ελληνικά
日本語
한국
Polski
فارسی
ไทย
Tiếng Việt
العربية
हिन्दी
Türkçe
Indonesia
ওয়েফার লেভেল হিস্টেরেসিস লুপ ইন্সট্রুমেন্ট নন ডেস্ট্রাকটিভ ওয়েফার পরিমাপ সিস্টেম
ওয়েফার লেভেল হিস্টেরেসিস লুপ ইন্সট্রুমেন্ট
,নন ডেস্ট্রাকটিভ ওয়েফার পরিমাপ সিস্টেম
,নন ডেস্ট্রাকটিভ হিস্টেরেসিস লুপ ইন্সট্রুমেন্ট
মৌলিক বৈশিষ্ট্য
বাণিজ্যিক সম্পত্তি
মেরু/অনুদৈর্ঘ্য চৌম্বকীয়-অপটিক্যাল কের এফেক্টস (এমওকে) ব্যবহার করে, এই যন্ত্রটি দ্রুত এবং বিশ্বব্যাপী ওয়েফার ফিল্মগুলির চৌম্বকীয়তা সনাক্ত করে। অ-যোগাযোগের পরিমাপ ওয়েফার ক্ষতি এড়ায় এবং স্পিন চিপ উত্পাদনে পোস্ট-প্যাটার্নিং নমুনা পরীক্ষার জন্য উপযুক্ত। এটি 2.5 টি পর্যন্ত একটি উল্লম্ব চৌম্বকীয় ক্ষেত্র এবং 1.4 টি পর্যন্ত একটি ইন-প্লেন চৌম্বকীয় ক্ষেত্র সরবরাহ করে, দৃ strong ় চৌম্বকীয় ক্ষেত্রগুলি উল্লম্বভাবে অ্যানিসোট্রপিক চৌম্বকীয় অ্যাক্সেস র্যান্ডম মেমরি (এমআরএএম) ফিল্ম স্ট্যাকগুলিতে ফ্রি এবং রেফারেন্স স্তর ফ্লিপিংকে প্ররোচিত করে। অতি-উচ্চ কের সনাক্তকরণ সংবেদনশীলতা বিভিন্ন ফিল্ম স্তরগুলিতে সূক্ষ্ম চৌম্বকীয় পরিবর্তনের একক-সময়ের বৈশিষ্ট্যকে মঞ্জুরি দেয়। স্ক্যানিং ইমেজিংয়ের সাথে লেজারপয়েন্ট-বাই-পয়েন্ট প্রোবের সংমিশ্রণ বিশ্বব্যাপী ওয়েফার চৌম্বকীয় বৈশিষ্ট্যযুক্ত মানচিত্রের দ্রুত সৃষ্টি, সহায়তা প্রক্রিয়া অপ্টিমাইজেশন এবং ফলন নিয়ন্ত্রণকে সক্ষম করে।
| সরঞ্জাম কর্মক্ষমতা সূচক | বর্ণনা |
|---|---|
| নমুনা আকার | 12 ইঞ্চি এবং নীচের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ, খণ্ড পরীক্ষা সমর্থন করে |
| চৌম্বকীয় ক্ষেত্র | উল্লম্ব ± 2.4 টি; ইন-প্লেন ± 1.3 টি |
| চৌম্বকীয় ক্ষেত্র রেজোলিউশন | পিড ক্লোজড-লুপ প্রতিক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ, 0.01 এমটি |
| চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের অভিন্নতা | ± 1%@φ1 মিমি থেকে ভাল |
| কের এঙ্গেল রেজোলিউশন | 0.3 এমডিইজি (আরএমএস) |
| পরীক্ষার দক্ষতা | 12 wph@ph@1.3 টি /9 সাইট পরিমাপ /200 মিমি ওয়েফার |
| নমুনা পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা | 10 μm এর চেয়ে ভাল |
| আপটাইম | 90% |
| এফেম | Al চ্ছিক |
| পরীক্ষা ফাংশন | চৌম্বকীয় ফিল্ম স্ট্যাকস/ডিভাইসগুলির অ-ধ্বংসাত্মক হিস্টেরেসিস লুপ পরিমাপ, হিস্টেরেসিস লুপ তথ্যের স্বয়ংক্রিয় নিষ্কাশন (ফ্রি স্তর এবং পিনযুক্ত স্তর এইচসি, হেক্স, এম (কের এঙ্গেল মান)), এবং ওয়েফার চৌম্বকীয় বৈশিষ্ট্যযুক্ত বিতরণের দ্রুত ম্যাপিং |
হিস্টেরেসিস লুপ পরিমাপের ফলাফল উল্লম্ব এমআরএএম ফিল্ম স্ট্যাকের ফলাফল
হিস্টেরেসিস লুপ পরিমাপের ফলাফল ইন-প্লেন অ্যানিসোট্রপিক এমটিজে ফিল্ম স্ট্যাকস
বিভিন্ন স্ক্যানিং মোড
চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের বৈশিষ্ট্যযুক্ত বিতরণ মানচিত্র 12 ইঞ্চি উল্লম্বভাবে অ্যানিসোট্রপিক ওয়েফারের
