웨이퍼 레벨 히스테레시 루프 도구 비 파괴적인 웨이퍼 측정 시스템

Name: 웨이퍼 레벨 히스테레시 루프 도구 비 파괴적인 웨이퍼 측정 시스템
Brand: Truth Instruments Co., Ltd.
SKU: 웨이퍼-모크
Availability: InStock

Wafer-Level Hysteresis Loop Measurement Instrument Product Introduction Using polar/longitudinal magneto-optical Kerr effects (MOKE), this instrument rapidly and globally detects the magnetism of wafer films. Non-contact measurement avoids wafer damage and is suitable for post-patterning sample testing in spin chip production. It provides a vertical magnetic field of up to 2.5 T and an in-plane magnetic field of up to 1.4 T, with strong magnetic fields inducing free and

태그:

자기 광학 커 효과 현미경

고해상도 현미경

커 영상 시스템

제품 상세정보

강조하다:

웨이퍼 레벨 히스테레시 루프 도구

파괴적이지 않은 웨이퍼 측정 시스템

파괴적이지 않은 히스테레시스 루프 도구

Name: 히스테리시스 루프 기기

Uptime: 90%

Magnetic Field Uniformity: ± 1%@φ1 mm보다 낫습니다

EFEM: 선택 과목

Sample Size: 12 인치 이하와 호환되며 조각 테스트를 지원합니다

Magnetic Field Resolution: PID 폐쇄 루프 피드백 조절, 0.01 Mt

Testing Functions: 자기 스택/장치의 비파괴 적 히스테리시스 루프 측정, 히스테리시스 루프 정보의 자동 추출 (자유 층 및 고정 레이어 HC, HEX, M (KERR Angle Value)) 및 웨이

Testing Efficiency: 12 wph@ ± 1.3 t /9 사이트 측정 /200 mm 웨이퍼

Sample Repeatability: 10 μm보다 낫습니다

기본 속성

원산지: 중국

브랜드 이름: Truth Instruments

모델 번호: 웨이퍼-모크

부동산 거래

가격: Price Negotiable | Contact us for a detailed quote

지불 조건: t/t

제품 설명

웨이퍼 레벨 히스테레시 루프 측정 장치

제품 소개

이 장비는 극적/상사적 광학 케어 효과 (MOKE) 를 사용하여 웨이퍼 필름의 자기성을 신속하고 전 세계적으로 감지합니다.비 접촉 측정은 웨이퍼 손상을 피하고 스핀 칩 생산에서 패턴 조립 후 샘플 테스트에 적합합니다.그것은 최대 2.5 T의 수직 자기장과 최대 1.4 T의 평면 자기장을 제공합니다.강한 자기장을 일으키는 자유 및 참조 계층이 수직적으로 애니소트로프 자기 접근 무작위 메모리 (MRAM) 필름 스택에서 뒤집어지는초고 Kerr 감지 민감도는 다른 필름 층의 미묘한 자기 변화의 단시간 특징을 허용합니다.레이저 점별 탐사와 스캐닝 영상의 결합은 글로벌 웨이퍼 자기 특성 지도를 빠르게 생성 할 수 있습니다., 프로세스 최적화 및 수확량 통제를 지원합니다.

장비 성능

장비 성능 지표	설명
표본 크기	12인치 이하와 호환, 조각 테스트를 지원
자기장	수직 ±2.4 T; 평면 내 ±1.3 T
자기장 해상도	PID 닫힌 루프 피드백 조절, 0.01mT
자기장 균일성	±1%@Φ1 mm 이상
케어 각 해상도	0.3mdeg (RMS)
효율성 검사	12 WPH@±1.3 T /9 위치 측정/200mm 웨이퍼
샘플 반복성	10μm 이상
가동 시간	90%
EFEM	선택 사항
테스트 기능	자기 필름 스택/장비의 비파괴적인 히스테리세스 루프 측정, 히스테리세스 루프 정보의 자동 추출 (자유층 및 고정층 Hc, Hex, M (Kerr 각 값)그리고 웨이퍼의 자기 특성 분포의 빠른 지도