
Sistema de medición de wafer de campo alto MOKE Wafer Scanner para la caracterización de MRAM y película magnética
Sistema de medición de obleas de campo alto
,Escáner de wafer de campo alto
,Escáner de obleas MOKE
Propiedades básicas
Propiedades comerciales
MOKE de obleas de campo alto para la caracterización de MRAM y película magnética
Descripción del producto:
Escáner de obleas MOKEes un instrumento de vanguardia diseñado para una precisión y eficienciaMedición del bucle de histeresis a nivel de obleade pilas y dispositivos magnéticos.Esta herramienta avanzada ofrece una serie de funciones de ensayo que la convierten en un activo indispensable para investigadores y fabricantes en el campo de la inspección de obleas magnéticas de película fina.Una de las características clave de laEscáner de obleas MOKE¿Es suMedición del bucle de histeresis no destructivaEsto permite a los usuarios analizar las propiedades magnéticas de sus muestras sin causar ningún daño,garantizar que la integridad de los materiales permanece intacta durante todo el proceso de ensayo.
Con elextracción automática de la información del bucle de histeresis, incluidos los parámetros clave como la coercividad de la capa libre y de la capa fijada (Hc), el campo de sesgo de intercambio (Hex) y la magnetización (M) con el valor del ángulo de Kerr, elEscáner de obleas MOKEsimplifica la recopilación y el análisis de datos, facilitando a los usuarios obtener información significativa de sus mediciones.
Por otra parte, elEscáner de obleas MOKElas ofertasmapeo rápido de la distribución de las características magnéticas de las obleasEsta capacidad de detección global permite un análisis exhaustivo de toda la superficie de la oblea.proporcionar información valiosa para optimizar los procesos de producción y garantizar un control de calidad constante.
Equipado conRegulación de retroalimentación en circuito cerrado del PIDLa tecnología, laEscáner de obleas MOKEOfrece una calidad excepcional.resolución del campo magnéticoEste alto nivel de precisión garantiza mediciones precisas y fiables, lo que permite a los usuarios realizar análisis en profundidad con confianza.
Con una impresionantetiempo de actividadde 90%, elEscáner de obleas MOKEMinimiza el tiempo de inactividad y maximiza la productividad, convirtiéndolo en una herramienta confiable para su uso continuo en entornos de investigación y fabricación.
Los usuarios también pueden beneficiarse de laRepetibilidad de la muestrade lasEscáner de obleas MOKE, que excede los 10 μm. Este nivel de consistencia y precisión garantiza que las mediciones puedan repetirse con precisión,permitir a los investigadores validar con confianza sus hallazgos y sacar conclusiones significativas de sus experimentos.
Cuando se trata decapacidades de campo magnético, elEscáner de obleas MOKEofrece un rango vertical de ±2,4 T y un rango en plano de ±1,3 T. Este amplio espectro de intensidades de campo magnético permite a los usuarios caracterizar una amplia variedad de materiales y dispositivos,hacer que el instrumento sea versátil y adaptable a diversos requisitos de investigación y producción.
Características:
- Nombre del producto: Instrumento de medición de bucle de histeresis a nivel de obleas
- Eficiencia de ensayo: 12 WPH@±1,3 T /9 Lugares de medición/200 mm Wafer
- Tamaño de la muestra: Compatible con 12 pulgadas y menos, admite pruebas de fragmentos
- Repetibilidad de la muestra: Mejor que 10 μm
- Funciones de ensayo:
- Medición del bucle de histeresis no destructiva de las pilas/dispositivos magnéticos
- Extracción automática de la información del bucle de histeresis (capa libre y capa fijada Hc, Hex, M (valor del ángulo de Kerr)
- Mapeo rápido de la distribución de las características magnéticas de las obleas
- Uniformidad del campo magnético: mejor que ±1%@Φ1 mm
Parámetros técnicos:
El campo magnético | La velocidad máxima de la unidad de ensayo será de ± 1 km/h. |
Resolución del campo magnético | PID Reglamento de retroalimentación de circuito cerrado, 0,01 MT |
Uniformidad del campo magnético | Mejor que ±1%@Φ1 mm |
Prueba de la eficacia | 12 WPH@±1.3 T /9 Medida de los sitios/200 mm Wafer |
EFEM | No se puede optar |
Repetibilidad de la muestra | Mejor que 10 μm |
Tamaño de la muestra | Compatible con 12 pulgadas y menos, admite pruebas de fragmentos |
Funciones de ensayo | Medición no destructiva del bucle de histeresis de las pilas/dispositivos magnéticos, extracción automática de la información del bucle de histeresis (capas libres y capas fijadas Hc, Hex, M (valor del ángulo de Kerr)),Y el mapeo rápido de la distribución de las características magnéticas de las obleas |
Resolución del ángulo de Kerr | 0.3 Mdeg (RMS) |
Tiempo de actividad | El 90% |
Aplicaciones:
El Wafer-MOKE de Truth Instruments es un producto de vanguardia diseñado para la metrología de la espíntrónica, específicamente para la medición del bucle de histeresis a nivel de oblea.ofrece funciones de ensayo precisas y no destructivas para las pilas y dispositivos magnéticos.
El modelo Wafer-MOKE es ideal para diversas ocasiones y escenarios de aplicación de productos debido a sus capacidades excepcionales.cuando el instrumento permita la extracción automática de información del bucle de histeresis, como la capa libre y la capa fijada Hc., Hex y M (valor del ángulo de Kerr).
Con una repetibilidad de muestra mejor que 10 μm, el Wafer-MOKE garantiza una alta precisión en las mediciones, lo que lo convierte en una herramienta confiable para las industrias que requieren una caracterización magnética precisa.Su eficiencia de ensayo de 12 obleas por hora a ± 1.3 T, que cubre 9 sitios por medida en una oblea de 200 mm, mejora significativamente la productividad.
Además, el tiempo de actividad del instrumento del 90% contribuye a la ininterrupción de los procesos de ensayo, garantizando un mínimo de tiempo de inactividad y una mayor productividad.Las capacidades de campo magnético de la Wafer-MOKE de ±2.4 T y ±1.3 T en plano proporcionan versatilidad en el ensayo de diversos materiales y estructuras magnéticas.
Ya sea en laboratorios de investigación, instalaciones de producción o departamentos de control de calidad, el Wafer-MOKE resulta ser una herramienta indispensable para aplicaciones de magnetómetro de obleas.Su mapeo rápido de la distribución de las características magnéticas de las obleas mejora aún más su utilidad en diversos escenarios que requieren un análisis magnético detallado.