
نظام قياس رقائق المجال العالي (MOKE Wafer Scanner) لتمييز MRAM والفيلم المغناطيسي
نظام قياس رقائق الحقل العالي,ماسح لوحة عالية الحقل,ماسح لوحة MOKE
,High Field Wafer Scanner
,MOKE Wafer Scanner
الخصائص الأساسية
تداول العقارات
High Field Wafer MOKE For MRAM And Magnetic Film Characterization
وصف المنتج:
ماسح MOKE للرقائق هو أداة متطورة مصممة لقياس حلقة التباطؤ على مستوى الرقاقة بدقة وكفاءة للمجموعات والأجهزة المغناطيسية. توفر هذه الأداة المتقدمة مجموعة من وظائف الاختبار التي تجعلها أصلًا لا غنى عنه للباحثين والمصنعين في مجال فحص الرقائق المغناطيسية الرقيقة.تتمثل إحدى الميزات الرئيسية لـ ماسح MOKE للرقائق في قدرته على قياس حلقة التباطؤ غير المدمر. يتيح هذا للمستخدمين تحليل الخصائص المغناطيسية لعيناتهم دون التسبب في أي ضرر، مما يضمن بقاء سلامة المواد سليمة طوال عملية الاختبار.
مع الاستخراج التلقائي لمعلومات حلقة التباطؤ ، بما في ذلك المعلمات الرئيسية مثل القسرية (Hc) للطبقة الحرة والطبقة المثبتة، ومجال التحيز التبادلي (Hex)، والمغناطيسية (M) مع قيمة زاوية كير، فإن ماسح MOKE للرقائق يعمل على تبسيط جمع البيانات وتحليلها، مما يسهل على المستخدمين استخلاص رؤى ذات مغزى من قياساتهم.
علاوة على ذلك، يوفر ماسح MOKE للرقائق رسمًا سريعًا لتوزيع الخصائص المغناطيسية للرقاقة ، مما يسمح للمستخدمين بتقييم التباين المكاني للخصائص المغناطيسية عبر العينة بكفاءة. تتيح قدرة الكشف العالمية هذه التحليل الشامل لسطح الرقاقة بأكمله، مما يوفر معلومات قيمة لتحسين عمليات الإنتاج وضمان مراقبة الجودة المتسقة.
مجهزة بـ تنظيم التغذية الراجعة ذات الحلقة المغلقة PID ، فإن ماسح MOKE للرقائق يوفر دقة مجال مغناطيسي استثنائية تبلغ 0.01 MT. يضمن هذا المستوى العالي من الدقة قياسات دقيقة وموثوقة، مما يمكّن المستخدمين من إجراء تحليلات متعمقة بثقة.
مع وقت تشغيل مثير للإعجاب بنسبة 90٪، فإن ماسح MOKE للرقائق يقلل من وقت التوقف عن العمل ويزيد الإنتاجية، مما يجعله أداة موثوقة للاستخدام المستمر في بيئات البحث والتصنيع.
يمكن للمستخدمين أيضًا الاستفادة من تكرار العينة لـ ماسح MOKE للرقائق ، والذي يتجاوز 10 μm. يضمن هذا المستوى من الاتساق والدقة إمكانية تكرار القياسات بدقة، مما يمكّن الباحثين من التحقق بثقة من نتائجهم واستخلاص استنتاجات ذات مغزى من تجاربهم.
عندما يتعلق الأمر بـ قدرات المجال المغناطيسي ، فإن ماسح MOKE للرقائق يوفر نطاقًا رأسيًا يبلغ ±2.4 T ونطاقًا في المستوى يبلغ ±1.3 T. يتيح هذا النطاق الواسع من شدة المجال المغناطيسي للمستخدمين تحديد خصائص مجموعة واسعة من المواد والأجهزة، مما يجعل الأداة متعددة الاستخدامات وقابلة للتكيف مع متطلبات البحث والإنتاج المتنوعة.
الميزات:
- اسم المنتج: أداة قياس حلقة التباطؤ على مستوى الرقاقة
- كفاءة الاختبار: 12 WPH@±1.3 T /9 قياسات للمواقع/رقاقة 200 مم
- حجم العينة: متوافق مع 12 بوصة وما دونها، ويدعم اختبار القطع
- تكرار العينة: أفضل من 10 μm
- وظائف الاختبار:
- قياس حلقة التباطؤ غير المدمر للمجموعات/الأجهزة المغناطيسية
- الاستخراج التلقائي لمعلومات حلقة التباطؤ (Hc للطبقة الحرة والطبقة المثبتة، Hex، M (قيمة زاوية كير))
- الرسم السريع لتوزيع الخصائص المغناطيسية للرقاقة
- توحيد المجال المغناطيسي: أفضل من ±1%@Φ1 مم
المعايير الفنية:
المجال المغناطيسي | رأسي ±2.4 T؛ في المستوى ±1.3 T |
دقة المجال المغناطيسي | تنظيم التغذية الراجعة ذات الحلقة المغلقة PID، 0.01 MT |
توحيد المجال المغناطيسي | أفضل من ±1%@Φ1 مم |
كفاءة الاختبار | 12 WPH@±1.3 T /9 قياسات للمواقع/رقاقة 200 مم |
EFEM | اختياري |
تكرار العينة | أفضل من 10 μm |
حجم العينة | متوافق مع 12 بوصة وما دونها، ويدعم اختبار القطع |
وظائف الاختبار | قياس حلقة التباطؤ غير المدمر للمجموعات/الأجهزة المغناطيسية، والاستخراج التلقائي لمعلومات حلقة التباطؤ (Hc للطبقة الحرة والطبقة المثبتة، Hex، M (قيمة زاوية كير))، والرسم السريع لتوزيع الخصائص المغناطيسية للرقاقة |
دقة زاوية كير | 0.3 Mdeg (RMS) |
وقت التشغيل | 90% |
التطبيقات:
Wafer-MOKE من Truth Instruments هو منتج متطور مصمم لقياسات علم المغزل، وتحديدًا لقياس حلقة التباطؤ على مستوى الرقاقة. توفر هذه الأداة المتقدمة، التي نشأت من الصين، وظائف اختبار دقيقة وغير مدمرة للمجموعات والأجهزة المغناطيسية.
يعد طراز Wafer-MOKE مثاليًا لمختلف مناسبات وسيناريوهات تطبيق المنتج نظرًا لقدراته الاستثنائية. تتمثل إحدى حالات الاستخدام الأساسية في مجال اختبار MRAM، حيث تتيح الأداة الاستخراج التلقائي لمعلومات حلقة التباطؤ مثل Hc للطبقة الحرة والطبقة المثبتة، و Hex، و M (قيمة زاوية كير).
مع تكرار عينة أفضل من 10 μm، يضمن Wafer-MOKE دقة عالية في القياسات، مما يجعله أداة موثوقة للصناعات التي تتطلب تحديدًا مغناطيسيًا دقيقًا. تعمل كفاءة الاختبار البالغة 12 رقاقة في الساعة عند ±1.3 T، والتي تغطي 9 مواقع لكل قياس على رقاقة 200 مم، على تحسين الإنتاجية بشكل كبير.
علاوة على ذلك، يساهم وقت تشغيل الأداة البالغ 90٪ في عمليات الاختبار غير المنقطعة، مما يضمن الحد الأدنى من وقت التوقف عن العمل وزيادة الإنتاجية. توفر قدرات المجال المغناطيسي لـ Wafer-MOKE والتي تبلغ ±2.4 T رأسيًا و ±1.3 T في المستوى، تنوعًا في اختبار المواد والهياكل المغناطيسية المختلفة.
سواء في المختبرات البحثية أو مرافق الإنتاج أو أقسام مراقبة الجودة، يثبت Wafer-MOKE أنه أداة لا غنى عنها لتطبيقات مقياس المغناطيسية للرقائق. يعزز الرسم السريع لتوزيع الخصائص المغناطيسية للرقاقة فائدته في السيناريوهات المتنوعة التي تتطلب تحليلًا مغناطيسيًا تفصيليًا.