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하이 필드 웨이퍼 측정 시스템 MOKE 웨이퍼 스캐너 MRAM 및 자기 필름 특성화
고장 웨이퍼 측정 시스템
,하이 필드 웨이퍼 스캐너
,MOKE 웨이퍼 스캐너
기본 속성
부동산 거래
MRAM 및 자기 필름 특성화를 위한 고장 웨이퍼 MOKE
제품 설명:
MOKE 웨이퍼 스캐너정밀하고 효율적으로 설계된 최첨단 도구입니다웨이퍼 레벨 히스테레시 루프 측정자기 스택과 장치이 첨단 도구는 얇은 필름 자기 웨이퍼 검사 분야에서 연구자와 제조업체에게 필수적인 자산으로 만드는 다양한 테스트 기능을 제공합니다..이 프로젝트의 주요 특징 중 하나는MOKE 웨이퍼 스캐너그 값이파괴적이지 않은 히스테레시스 루프 측정이것은 사용자가 손상을 입지 않고 샘플의 자기 특성을 분석 할 수 있습니다.시험 과정 내내 재료의 무결성을 유지하도록 보장합니다..
와 함께히스테리세스 루프 정보의 자동 추출, 자유 계층과 고정 계층의 강제력 (Hc), 교환 편향 필드 (Hex) 및 케어 각 값의 자기화 (M) 와 같은 주요 매개 변수를 포함하여MOKE 웨이퍼 스캐너데이터 수집과 분석을 효율화하여 사용자가 측정에서 의미있는 통찰력을 얻는 것을 더 쉽게합니다.
또한,MOKE 웨이퍼 스캐너제안웨이퍼 자기 특성 분포의 빠른 지도, 사용자가 샘플 전체에 걸쳐 자기 속성의 공간 변화를 효율적으로 평가 할 수 있습니다. 이 글로벌 탐지 기능은 웨이퍼 표면의 전체 분석을 가능하게합니다.생산 프로세스를 최적화하고 일관된 품질 통제를 보장하기 위해 귀중한 정보를 제공하는.
장착된PID 닫힌 루프 피드백 조절기술,MOKE 웨이퍼 스캐너뛰어난 서비스를 제공합니다.자기장 해상도이 높은 수준의 정밀도는 정확하고 신뢰할 수 있는 측정을 보장하며 사용자가 자신감 있게 심층 분석을 수행 할 수 있습니다.
인상적인가동시간90%,MOKE 웨이퍼 스캐너다운타임을 최소화하고 생산성을 극대화하여 연구 및 제조 환경에서 지속적으로 사용할 수있는 신뢰할 수있는 도구가됩니다.
사용자들은 또한샘플 반복성의MOKE 웨이퍼 스캐너, 10μm를 초과합니다. 이 수준의 일관성과 정확성은 측정이 정확하게 복제 될 수 있도록합니다.연구자들이 자신 있게 연구 결과를 검증하고 실험을 통해 의미 있는 결론을 내릴 수 있도록 하는 것.
이 문제에 있어서자기장 능력,MOKE 웨이퍼 스캐너수직 범위는 ±2.4 T이고 평면 범위는 ±1.3 T입니다. 이 광범위한 자기장 강도 스펙트럼은 사용자가 다양한 재료와 장치를 특징 지을 수 있습니다.다양한 연구 및 생산 요구 사항에 다재다능하고 적응할 수 있는 도구.
특징:
- 제품명: 웨이퍼 레벨 히스테레시 루프 측정 장치
- 테스트 효율: 12 WPH@±1.3 T /9 위치 측정/200 mm 웨이퍼
- 샘플 크기: 12인치 이하와 호환, 조각 테스트를 지원
- 샘플 반복성: 10μm 이상
- 테스트 기능:
- 자기 스택/장비의 비파괴적인 히스테레시 루프 측정
- 히스테리세스 루프 정보의 자동 추출 (자유 계층 및 핀 레이어 Hc, Hex, M (Kerr 각 값)
- 웨이퍼 자기 특성 분포의 빠른 지도
- 자기장 균일성: ±1%@Φ1 mm 이상
기술 매개 변수:
| 자기장 | 수직 ±2.4 T; 평면 내 ±1.3 T |
| 자기장 해상도 | PID 닫힌 루프 피드백 규정, 0.01 MT |
| 자기장 균일성 | ±1%@Φ1 mm 보다 낫다 |
| 효율성 검사 | 12 WPH@±1.3 T /9 위치 측정/200mm 웨이퍼 |
| EFEM | 선택 사항 |
| 샘플 반복성 | 10μm보다 낫다 |
| 표본 크기 | 12인치 이하와 호환되며, 조각 테스트를 지원합니다. |
| 테스트 기능 | 비파괴적인 히스테리세스 루프 측정, 자기 스택/장치, 자동 추출 히스테리세스 루프 정보 (자유 계층 및 핀 계층 Hc, Hex, M (Kerr 각 값)),그리고 웨이퍼의 자기 특성 분포의 빠른 지도 |
| 케어 각 해상도 | 0.3 Mdeg (RMS) |
| 가동 시간 | 90% |
응용 프로그램:
트루트 인스트루먼트 (Truth Instruments) 의 웨이퍼-모케 (Wafer-MOKE) 는 스핀트론틱스 측정기, 특히 웨이퍼 레벨 히스테레시 루프 측정용으로 설계된 최첨단 제품입니다.자기 스택 및 장치에 대한 정확하고 파괴적이지 않은 테스트 기능을 제공합니다..
웨이퍼-MOKE 모델은 그 예외적인 기능으로 인해 다양한 제품 응용 기회와 시나리오에 이상적입니다.도구가 자유층과 고정층 Hc와 같은 히스테리세스 루프 정보의 자동 추출을 가능하게 하는 경우, Hex, 그리고 M (Kerr 각 값)
샘플 반복성이 10μm 이상으로, 웨이퍼-MOKE는 측정의 높은 정확성을 보장하며, 정확한 자기 특성화를 필요로하는 산업에 대한 신뢰할 수있는 도구가됩니다.시당 12개의 웨이퍼의 테스트 효율은 ± 1.3 T, 200mm 웨이퍼에 대한 측정 당 9 개의 사이트를 커버하여 생산성을 크게 향상시킵니다.
또한, 90%의 가동시간은 지속적인 테스트 과정에 기여하여 최소 정지시간과 생산성 증가를 보장합니다.위상 ±2의 웨이퍼-MOKE의 자기장 능력.4 T 및 직사각형 ±1.3 T는 다양한 자기 물질과 구조를 시험하는 데 다재다능성을 제공합니다.
연구실, 생산 시설 또는 품질 관리 부서에서 웨이퍼-모케는 웨이퍼 자기계 응용 프로그램에서 필수적인 도구로 입증됩니다.웨이퍼 자기 특성 분포의 빠른 지도 제작은 세부적인 자기 분석을 요구하는 다양한 시나리오에서 유용성을 더욱 향상시킵니다..
