
高フィールド・ウェーファー測定システム MRAMと磁気フィルムの特徴付けのためのMOKE・ウェーファースキャン
高フィールド・ウェーファー測定システム
,ハイフィールド・ウェーファー・スキャナー
,MOKE ウェーファー スキャナー
基本的な特性
取引物件
高磁場ウェーハMOKE、MRAMおよび磁性膜特性評価用
製品説明:
MOKEウェーハスキャナーは、磁性スタックおよびデバイスの正確かつ効率的なウェーハレベルのヒステリシスループ測定のために設計された最先端の機器です。この高度なツールは、薄膜磁性ウェーハ検査の分野の研究者や製造業者にとって不可欠な資産となる一連の試験機能を提供します。MOKEウェーハスキャナー製品名:ウェーハレベルヒステリシスループ測定装置非破壊ヒステリシスループ測定機能です。これにより、ユーザーは、テストプロセス全体で材料の完全性を損なうことなく、サンプルの磁気特性を分析できます。自由層と固定層の保磁力(Hc)、交換バイアス磁場(Hex)、およびカー角値による磁化(M)などの主要パラメータを含む、
ヒステリシスループ情報の自動抽出により、MOKEウェーハスキャナー製品名:ウェーハレベルヒステリシスループ測定装置さらに、
MOKEウェーハスキャナー製品名:ウェーハレベルヒステリシスループ測定装置ウェーハ磁気特性分布の迅速なマッピングを提供し、ユーザーはサンプル全体の磁気特性の空間的変動を効率的に評価できます。このグローバル検出機能により、ウェーハ表面全体の包括的な分析が可能になり、生産プロセスを最適化し、一貫した品質管理を確保するための貴重な情報が得られます。PID閉ループフィードバック制御
技術を搭載したMOKEウェーハスキャナーは、0.01 MTの優れた製品名:ウェーハレベルヒステリシスループ測定装置を提供します。この高精度により、正確で信頼性の高い測定が保証され、ユーザーは自信を持って詳細な分析を行うことができます。90%の印象的な稼働時間
により、MOKEウェーハスキャナーはダウンタイムを最小限に抑え、生産性を最大化し、研究および製造環境での継続的な使用に信頼できるツールとなっています。製品名:ウェーハレベルヒステリシスループ測定装置MOKEウェーハスキャナー
のサンプル再現性も利用でき、10 μmを超えています。このレベルの一貫性と精度により、測定を正確に再現できるため、研究者は自信を持って結果を検証し、実験から意味のある結論を導き出すことができます。製品名:ウェーハレベルヒステリシスループ測定装置に関しては、
MOKEウェーハスキャナーは、垂直範囲±2.4 T、面内範囲±1.3 Tを提供します。この幅広い磁場強度により、ユーザーはさまざまな材料とデバイスを特性評価できるため、多様な研究および生産要件に柔軟に対応できます。特徴:製品名:ウェーハレベルヒステリシスループ測定装置試験効率:12 WPH@±1.3 T / 9サイト測定/ 200 mmウェーハ
サンプルサイズ:12インチ以下に対応、フラグメントテストをサポート
- サンプル再現性:10 μm以上
- 試験機能:
- 磁性スタック/デバイスの非破壊ヒステリシスループ測定
- ヒステリシスループ情報の自動抽出(自由層および固定層Hc、Hex、M(カー角値))
- ウェーハ磁気特性分布の迅速なマッピング
- 磁場均一性:±1%@Φ1 mm以上
- 技術的パラメータ:
- 磁場
- 垂直±2.4 T; 面内±1.3 T
磁場分解能
PID閉ループフィードバック制御、0.01 MT | 磁場均一性 |
±1%@Φ1 mm以上 | 試験効率 |
12 WPH@±1.3 T / 9サイト測定/ 200 mmウェーハ | EFEM |
オプション | サンプル再現性 |
10 μm以上 | サンプルサイズ |
12インチ以下に対応、フラグメントテストをサポート | 試験機能 |
磁性スタック/デバイスの非破壊ヒステリシスループ測定、ヒステリシスループ情報の自動抽出(自由層および固定層Hc、Hex、M(カー角値))、およびウェーハ磁気特性分布の迅速なマッピング | カー角分解能 |
0.3 Mdeg (RMS) | 稼働時間 |
90% | アプリケーション: |
Truth InstrumentsのWafer-MOKEは、スピンエレクトロニクスメトロロジー、特にウェーハレベルのヒステリシスループ測定用に設計された最先端の製品です。中国発のこの高度な機器は、磁性スタックおよびデバイスの正確で非破壊的な試験機能を提供します。 | Wafer-MOKEモデルは、その優れた機能により、さまざまな製品アプリケーションの機会とシナリオに最適です。主な使用例の1つは、MRAMテストの分野であり、この機器により、自由層および固定層Hc、Hex、M(カー角値)などのヒステリシスループ情報の自動抽出が可能になります。 |
10 μm以上のサンプル再現性により、Wafer-MOKEは測定の高精度を保証し、正確な磁気特性評価を必要とする業界にとって信頼できるツールとなっています。200 mmウェーハで測定あたり9サイトをカバーし、±1.3 Tで1時間あたり12ウェーハの試験効率により、生産性が大幅に向上します。
さらに、この機器の90%の稼働時間は、中断のない試験プロセスに貢献し、ダウンタイムを最小限に抑え、生産性を向上させます。Wafer-MOKEの垂直±2.4 Tおよび面内±1.3 Tの磁場機能は、さまざまな磁性材料および構造の試験に多様性を提供します。
研究室、生産施設、品質管理部門のいずれにおいても、Wafer-MOKEはウェーハ磁力計アプリケーションに不可欠なツールであることが証明されています。ウェーハ磁気特性分布の迅速なマッピングは、詳細な磁気分析を必要とするさまざまなシナリオでのその有用性をさらに高めます。