
ওয়েফার লেভেল এমওকে সিস্টেম 0.3 এমডিজি দ্রুত হাইস্টেরেসিস লুপ এবং প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণের জন্য
ওয়েফার লেভেল MOKE সিস্টেম
,MOKE সিস্টেম 0.3 Mdeg
,0.৩ এমডিজি ওয়েফার পরিমাপ ব্যবস্থা
মৌলিক বৈশিষ্ট্য
বাণিজ্যিক সম্পত্তি
র্যাপিড হিস্টেরেসিস লুপস এবং প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণের জন্য ওয়েফার লেভেল MOKE
পণ্যের বর্ণনা:
ওয়েফার-লেভেল হিস্টেরেসিস লুপ পরিমাপ যন্ত্রটি চৌম্বকীয় স্ট্যাক/ডিভাইসের নন-ধ্বংসাত্মক হিস্টেরেসিস লুপ পরিমাপের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যার মধ্যে রয়েছে বিনামূল্যে স্তর এবং পিন করা স্তর Hc, Hex, এবং M (কের অ্যাঙ্গেল মান), সেইসাথে ওয়েফার চৌম্বকীয় বৈশিষ্ট্যের দ্রুত ম্যাপিং।
এই যন্ত্রটি 90% আপটাইম সহ আপনার পরীক্ষার প্রয়োজনে নির্ভরযোগ্য এবং ধারাবাহিক কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করে। এর উন্নত পরীক্ষার বৈশিষ্ট্যগুলি ব্যবহারকারীদের বিভিন্ন উপাদানের চৌম্বকীয় বৈশিষ্ট্যগুলি সহজে এবং দক্ষতার সাথে পরিমাপ এবং বিশ্লেষণ করতে সক্ষম করে।
এই যন্ত্রের মূল বৈশিষ্ট্যগুলির মধ্যে একটি হল এর পরীক্ষার দক্ষতা, যা ±1.3 T /9 সাইট পরিমাপ/200 মিমি ওয়েফারে 12 WPH উচ্চ থ্রুপুট প্রদান করে। এই ব্যতিক্রমী পরীক্ষার গতি দ্রুত এবং নির্ভুল ডেটা সংগ্রহের জন্য উপযুক্ত, যা উচ্চ-ভলিউম উত্পাদন পরিবেশের জন্য আদর্শ করে তোলে।
অতিরিক্ত নমনীয়তার জন্য, যন্ত্রটি একটি ঐচ্ছিক EFEM (সরঞ্জাম ফ্রন্ট এন্ড মডিউল) ইন্টিগ্রেশনও অফার করে, যা বিদ্যমান ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ সিস্টেমের সাথে নির্বিঘ্ন একীকরণ করতে দেয়।
ওয়েফার-লেভেল হিস্টেরেসিস লুপ পরিমাপ যন্ত্রটি পিআইডি ক্লোজড-লুপ ফিডব্যাক নিয়ন্ত্রণের চৌম্বক ক্ষেত্র রেজোলিউশন নিয়ে গর্ব করে, যা 0.01 MT রেজোলিউশনের সাথে নির্ভুল এবং সঠিক পরিমাপ নিশ্চিত করে। এই স্তরের নির্ভুলতা চৌম্বকীয় উপকরণগুলির গভীর বিশ্লেষণ এবং বৈশিষ্ট্যের জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।
সামগ্রিকভাবে, এই উন্নত যন্ত্রটি ওয়েফার ম্যাগনেটোমিটার অ্যাপ্লিকেশন, ওয়েফার স্কেল MOKE (Magneto-Optical Kerr Effect) পরিমাপ এবং স্পিনট্রনিক্স মেট্রোলজির জন্য একটি বহুমুখী সমাধান। এর উদ্ভাবনী বৈশিষ্ট্য এবং উচ্চ-কার্যকারিতা ক্ষমতা এটিকে চৌম্বকীয় উপকরণ এবং স্পিনট্রনিক্সের ক্ষেত্রে কাজ করা গবেষক এবং নির্মাতাদের জন্য একটি অপরিহার্য সরঞ্জাম করে তোলে।
বৈশিষ্ট্য:
- পণ্যের নাম: ওয়েফার-লেভেল হিস্টেরেসিস লুপ পরিমাপ যন্ত্র
- কের অ্যাঙ্গেল রেজোলিউশন: 0.3 Mdeg (RMS)
- নমুনা পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা: 10 μm এর চেয়ে ভালো
- চৌম্বক ক্ষেত্র অভিন্নতা: Φ1 মিমি-এ ±1% এর চেয়ে ভালো
- পরীক্ষার দক্ষতা: 12 WPH@±1.3 T /9 সাইট পরিমাপ/200 মিমি ওয়েফার
- EFEM: ঐচ্ছিক
প্রযুক্তিগত পরামিতি:
পরীক্ষার কার্যাবলী | চৌম্বকীয় স্ট্যাক/ডিভাইসের নন-ধ্বংসাত্মক হিস্টেরেসিস লুপ পরিমাপ, হিস্টেরেসিস লুপ তথ্যের স্বয়ংক্রিয় নিষ্কাশন (ফ্রি লেয়ার এবং পিন করা লেয়ার Hc, Hex, M (কের অ্যাঙ্গেল মান)), এবং ওয়েফার চৌম্বকীয় বৈশিষ্ট্যের দ্রুত ম্যাপিং |
আপটাইম | 90% |
EFEM | ঐচ্ছিক |
চৌম্বক ক্ষেত্র অভিন্নতা | Φ1 মিমি-এ ±1% এর চেয়ে ভালো |
কের অ্যাঙ্গেল রেজোলিউশন | 0.3 Mdeg (RMS) |
নমুনা আকার | 12-ইঞ্চি এবং তার কমের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ, ফ্র্যাগমেন্ট পরীক্ষার সমর্থন করে |
চৌম্বক ক্ষেত্র | উলম্ব ±2.4 T; ইন-প্লেন ±1.3 T |
পরীক্ষার দক্ষতা | 12 WPH@±1.3 T /9 সাইট পরিমাপ/200 মিমি ওয়েফার |
নমুনা পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা | 10 μm এর চেয়ে ভালো |
চৌম্বক ক্ষেত্র রেজোলিউশন | পিআইডি ক্লোজড-লুপ ফিডব্যাক রেগুলেশন, 0.01 MT |
অ্যাপ্লিকেশন:
ট্রু ইনস্ট্রুমেন্টস-এর ওয়েফার-MOKE একটি অত্যাধুনিক চৌম্বকীয় মেট্রোলজি টুল যা পাতলা ফিল্ম চৌম্বকীয় ওয়েফারে সুনির্দিষ্ট হিস্টেরেসিস লুপ পরিমাপের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। চীন থেকে উদ্ভূত এই উদ্ভাবনী যন্ত্রটি চৌম্বকীয় বৈশিষ্ট্যগুলি চিহ্নিত করার ক্ষেত্রে অতুলনীয় নির্ভুলতা এবং দক্ষতা প্রদান করে।
ওয়েফার-MOKE-এর মাধ্যমে, গবেষক এবং নির্মাতারা বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশন অনুষ্ঠানে এবং পরিস্থিতিতে ওয়েফার-স্তরের হিস্টেরেসিস লুপ পরিমাপ করতে পারেন। ঐচ্ছিক EFEM ইন্টিগ্রেশন বিদ্যমান সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলিতে নির্বিঘ্ন অটোমেশন এবং একীকরণ করতে দেয়, যা উত্পাদনশীলতা বৃদ্ধি করে এবং ম্যানুয়াল হস্তক্ষেপ হ্রাস করে।
ওয়েফার-MOKE-এর মূল বৈশিষ্ট্যগুলির মধ্যে একটি হল এর বহুমুখী চৌম্বক ক্ষেত্র ক্ষমতা। যন্ত্রটি ±2.4 T পর্যন্ত উল্লম্ব চৌম্বক ক্ষেত্র এবং ±1.3 T পর্যন্ত ইন-প্লেন চৌম্বক ক্ষেত্র তৈরি করতে পারে, যা বিস্তৃত চৌম্বকীয় উপাদান পরীক্ষার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে। তদুপরি, Φ1 মিমি-এ ±1% এর চেয়ে ভালো চৌম্বক ক্ষেত্রের অভিন্নতা ওয়েফার জুড়ে নির্ভরযোগ্য এবং ধারাবাহিক পরিমাপের ফলাফল নিশ্চিত করে।
সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে বিশ্বব্যাপী সনাক্তকরণ এবং গুণমান নিয়ন্ত্রণের জন্য, ওয়েফার-MOKE 90% এর ব্যতিক্রমী আপটাইম অফার করে, যা ক্রমাগত অপারেশন এবং ন্যূনতম ডাউনটাইম নিশ্চিত করে। এই উচ্চ আপটাইম শতাংশ উত্পাদন চাহিদা মেটাতে এবং চৌম্বকীয় ওয়েফার পরিদর্শন প্রক্রিয়াগুলিতে থ্রুপুট বজায় রাখার জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।
এছাড়াও, ওয়েফার-MOKE চিত্তাকর্ষক নমুনা পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নিয়ে গর্ব করে, যার ফলাফল 10 μm এর চেয়ে ভালো। এই স্তরের নির্ভুলতা গবেষণা এবং উন্নয়ন কার্যক্রমের জন্য অপরিহার্য, যেখানে সঠিক এবং পুনরুৎপাদনযোগ্য পরিমাপগুলি সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ।
সামগ্রিকভাবে, ট্রু ইনস্ট্রুমেন্টস ওয়েফার-MOKE পাতলা ফিল্ম চৌম্বকীয় ওয়েফার পরিদর্শনের জন্য একটি অত্যাধুনিক সমাধান, যা চৌম্বকীয় মেট্রোলজি অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে অতুলনীয় কর্মক্ষমতা এবং নির্ভরযোগ্যতা প্রদান করে।