Waферная MOKE-система 0.3 мdeg для быстрого снятия петель гистерезиса и контроля технологического процесса

Описание продукта:

Измерительный прибор для петель гистерезиса на уровне пластин — это передовой инструмент, предназначенный для неразрушающего измерения петель гистерезиса магнитных стеков/устройств, автоматического извлечения информации о петлях гистерезиса, включая Hc, Hex и M (значение угла Керра) свободного и закрепленного слоев, а также для быстрого картирования распределения магнитных характеристик пластин.

Благодаря впечатляющему времени безотказной работы в 90% этот прибор обеспечивает надежную и стабильную работу для ваших потребностей в тестировании. Его расширенные функции тестирования позволяют пользователям точно измерять и анализировать магнитные свойства различных материалов с легкостью и эффективностью.

Одной из ключевых особенностей этого прибора является эффективность тестирования, обеспечивающая высокую производительность 12 WPH при измерении ±1,3 Т /9 участков/200 мм пластины. Эта исключительная скорость тестирования позволяет быстро и точно собирать данные, что делает его идеальным для крупносерийного производства.

Для большей гибкости прибор также предлагает дополнительную интеграцию EFEM (Equipment Front End Module), что позволяет легко интегрироваться с существующими системами обработки пластин.

Измерительный прибор для петель гистерезиса на уровне пластин может похвастаться разрешением магнитного поля с регулировкой обратной связи по замкнутому контуру PID, обеспечивая точные и аккуратные измерения с разрешением 0,01 мТ. Этот уровень точности имеет решающее значение для углубленного анализа и характеристики магнитных материалов.

В целом, этот усовершенствованный прибор является универсальным решением для применений с вафельными магнитометрами, измерений MOKE (магнитооптический эффект Керра) в масштабе пластин и метрологии спинтроники. Его инновационные функции и высокие эксплуатационные характеристики делают его незаменимым инструментом для исследователей и производителей, работающих в области магнитных материалов и спинтроники.

Особенности:

• Название продукта: Измерительный прибор для петель гистерезиса на уровне пластин
• Разрешение по углу Керра: 0,3 мград (RMS)
• Повторяемость образца: лучше, чем 10 мкм
• Равномерность магнитного поля: лучше, чем ±1% при Φ1 мм
• Эффективность тестирования: 12 WPH при ±1,3 Т /9 участках измерения/200 мм пластины
• EFEM: опционально

Технические параметры:

Применения:

Wafer-MOKE от Truth Instruments — это передовой инструмент магнитной метрологии, предназначенный для точных измерений петель гистерезиса на магнитных пластинах из тонкой пленки. Этот инновационный прибор, разработанный в Китае, предлагает непревзойденную точность и эффективность при характеристике магнитных свойств.

С помощью Wafer-MOKE исследователи и производители могут выполнять измерения петель гистерезиса на уровне пластин в различных случаях и сценариях применения. Дополнительная интеграция EFEM обеспечивает бесшовную автоматизацию и интеграцию в существующие процессы производства полупроводников, повышая производительность и уменьшая ручное вмешательство.

Одной из ключевых особенностей Wafer-MOKE являются его универсальные возможности магнитного поля. Прибор может генерировать вертикальные магнитные поля до ±2,4 Т и магнитные поля в плоскости до ±1,3 Т, удовлетворяя широкий спектр требований к тестированию магнитных материалов. Кроме того, равномерность магнитного поля лучше, чем ±1% при Φ1 мм, что обеспечивает надежные и последовательные результаты измерений по всей пластине.

Для глобального обнаружения и контроля качества в полупроводниковой промышленности Wafer-MOKE предлагает исключительное время безотказной работы в 90%, обеспечивая непрерывную работу и минимальное время простоя. Этот высокий процент времени безотказной работы имеет решающее значение для удовлетворения производственных потребностей и поддержания производительности в процессах контроля магнитных пластин.

Кроме того, Wafer-MOKE может похвастаться впечатляющей повторяемостью образцов, с результатами лучше, чем 10 мкм. Этот уровень точности необходим для исследований и разработок, где точные и воспроизводимые измерения имеют первостепенное значение.

В целом, Wafer-MOKE от Truth Instruments — это современное решение для контроля магнитных пластин из тонкой пленки, предлагающее непревзойденную производительность и надежность в приложениях магнитной метрологии.