Sistema MOKE a livello di wafer 0,3 Mdeg per cicli di isteresi rapida e controllo dei processi

Descrizione del prodotto:

Lo strumento di misurazione del ciclo di isteresi a livello di wafer è uno strumento all'avanguardia progettato per la misurazione del ciclo di isteresi non distruttivo di pile/dispositivi magnetici,estrazione automatica delle informazioni sul circuito di isteresi, compresi i livelli libero e fissato Hc, Hex e M (valore dell'angolo di Kerr), nonché rapido mappaggio della distribuzione delle caratteristiche magnetiche dei wafer.

Con un tempo di attività impressionante del 90%, questo strumento garantisce prestazioni affidabili e costanti per le vostre esigenze di test.Le sue funzioni di prova avanzate consentono agli utenti di misurare e analizzare con precisione le proprietà magnetiche di vari materiali con facilità ed efficienza.

Una delle caratteristiche chiave di questo strumento è la sua efficienza di prova, che offre un elevato throughput di 12 WPH a ±1,3 T / 9 siti di misurazione/200 mm wafer.Questa eccezionale velocità di collaudo consente una raccolta rapida e precisa dei dati, che lo rende ideale per ambienti di produzione ad alto volume.

Per una maggiore flessibilità, lo strumento offre anche un'integrazione opzionale EFEM (Equipment Front End Module), che consente un'integrazione senza soluzione di continuità con i sistemi di elaborazione dei wafer esistenti.

Lo strumento di misura del ciclo di isteresi a livello di wafer vanta una risoluzione di campo magnetico di regolazione del feedback a circuito chiuso PID, garantendo misurazioni precise e accurate con una risoluzione di 0.01 MTQuesto livello di precisione è fondamentale per l'analisi approfondita e la caratterizzazione dei materiali magnetici.

Nel complesso, questo strumento avanzato è una soluzione versatile per applicazioni di magnetometro a wafer, misurazioni MOKE (Magneto-Optical Kerr Effect) su scala di wafer e metrologia spintronica.Le sue caratteristiche innovative e le sue elevate prestazioni lo rendono uno strumento essenziale per i ricercatori e i produttori che lavorano nel campo dei materiali magnetici e della spintronica.

Caratteristiche:

• Nome del prodotto: strumento di misura del ciclo di isteresi a livello di wafer
• Risoluzione dell'angolo di Kerr: 0,3 Mdeg (RMS)
• Ripetibilità del campione: migliore di 10 μm
• Uniformità del campo magnetico: migliore di ± 1%@Φ1 mm
• Efficienza di prova: 12 WPH@±1,3 T /9 siti di misurazione/200 mm Wafer
• EFEM: facoltativo

Parametri tecnici:

Applicazioni:

Wafer-MOKE di Truth Instruments è uno strumento di metrologia magnetica all'avanguardia progettato per misure precise di circuito di isteresi su onde magnetiche a film sottile.originari della Cina, offre una precisione ed efficienza senza pari nella caratterizzazione delle proprietà magnetiche.

Con il Wafer-MOKE, i ricercatori e i produttori possono eseguire misurazioni del ciclo di isteresi a livello di wafer in una varietà di occasioni e scenari di applicazione.L'integrazione EFEM facoltativa consente un'automazione e un'integrazione senza soluzione di continuità nei processi di produzione di semiconduttori esistenti, aumentando la produttività e riducendo l'intervento manuale.

Una delle caratteristiche chiave del Wafer-MOKE è la sua versatilità nel campo magnetico, in grado di generare campi magnetici verticali fino a ± 2,4 T e campi magnetici in piano fino a ± 1,3 T.soddisfacendo una vasta gamma di requisiti di prova dei materiali magneticiInoltre, l'uniformità del campo magnetico superiore a ± 1% a Φ1 mm garantisce risultati di misura affidabili e coerenti su tutto il wafer.

Per il rilevamento globale e il controllo della qualità nell'industria dei semiconduttori, il Wafer-MOKE offre un tempo di attività eccezionale del 90%, garantendo un funzionamento continuo e un minimo di tempi di fermo.Questa elevata percentuale di disponibilità è cruciale per soddisfare le richieste di produzione e mantenere il throughput nei processi di ispezione dei wafer magnetici.

Inoltre, il Wafer-MOKE vanta un'impressionante ripetibilità dei campioni, con risultati migliori di 10 μm.quando le misurazioni accurate e riproducibili sono fondamentali.

Nel complesso, il Wafer-MOKE di Truth Instruments è una soluzione all'avanguardia per l'ispezione dei wafer magnetici a film sottile, che offre prestazioni e affidabilità senza pari nelle applicazioni di metrologia magnetica.