
Σύστημα MOKE επιπέδου κυψελού 0,3 Mdeg για ταχεία κυκλώματα υστερέσης και έλεγχο διαδικασίας
Σύστημα MOKE επιπέδου κυψελών
,Σύστημα MOKE 0
,3 Mdeg
Βασικές ιδιότητες
Εμπορικά Ακίνητα
MOKE επιπέδου κυψελών για ταχεία κυκλώματα υστερέσης και έλεγχο διαδικασιών
Περιγραφή του προϊόντος:
Το όργανο μέτρησης κυκλώματος υστερέσεως επιπέδου κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος κυκλώματος (Wafer-Level Hysteresis Loop Measurement Instrument) είναι ένα εργαλείο προηγμένης τεχνολογίας που έχει σχεδιαστεί για τη μέτρηση μη καταστροφικών κυκλώσεων υστερέσεως των μαγνητικών συσσωμάτων/εγκαταστάσεων.αυτόματη εξαγωγή των πληροφοριών κυκλώματος υστερέσης, συμπεριλαμβανομένης της ελεύθερης στρώσης και της κολλημένης στρώσης Hc, Hex, και M (αξία γωνίας Kerr), καθώς και ταχεία χαρτογράφηση της μαγνητικής κατανομής των χαρακτηριστικών των πλακιδίων.
Με εντυπωσιακό χρόνο λειτουργίας 90%, αυτό το όργανο εξασφαλίζει αξιόπιστη και σταθερή απόδοση για τις ανάγκες δοκιμών σας.Οι προηγμένες λειτουργίες δοκιμών του επιτρέπουν στους χρήστες να μετρήσουν και να αναλύσουν με ακρίβεια τις μαγνητικές ιδιότητες διαφόρων υλικών με ευκολία και αποτελεσματικότητα.
Ένα από τα βασικά χαρακτηριστικά αυτού του οργάνου είναι η αποτελεσματικότητα των δοκιμών του, προσφέροντας υψηλή απόδοση 12 WPH σε ±1,3 T / 9 σημεία μέτρησης/200 mm πλάκας.Αυτή η εξαιρετική ταχύτητα δοκιμών επιτρέπει την ταχεία και ακριβή συλλογή δεδομένων, καθιστώντας το ιδανικό για περιβάλλοντα παραγωγής μεγάλου όγκου.
Για μεγαλύτερη ευελιξία, το όργανο προσφέρει επίσης προαιρετική ενσωμάτωση EFEM (Equipment Front End Module), επιτρέποντας την απρόσκοπτη ενσωμάτωση με τα υφιστάμενα συστήματα επεξεργασίας πλακών.
Το όργανο μέτρησης κυκλώματος υστερέσης επιπέδου κυκλώματος κυκλώματος διαθέτει ανάλυση μαγνητικού πεδίου PID κλειστού κυκλώματος, εξασφαλίζοντας ακριβείς και ακριβείς μετρήσεις με ανάλυση 0.01 MTΑυτό το επίπεδο ακρίβειας είναι ζωτικής σημασίας για την εις βάθος ανάλυση και χαρακτηρισμό των μαγνητικών υλικών.
Συνολικά, αυτό το προηγμένο όργανο είναι μια ευπροσάρμοστη λύση για εφαρμογές μαγνητομέτρου κυψελών, μετρήσεις MOKE κλίμακας κυψελών (Magneto-Optical Kerr Effect) και μετρολογία σπιντρονικών.Τα καινοτόμα χαρακτηριστικά του και οι δυνατότητες υψηλών επιδόσεων το καθιστούν απαραίτητο εργαλείο για ερευνητές και κατασκευαστές που εργάζονται στον τομέα των μαγνητικών υλικών και της σπιντρονικής.
Χαρακτηριστικά:
- Ονομασία προϊόντος: Όργανο μέτρησης κυκλώματος υστερέσης σε επίπεδο κυκλώματος
- Η ανάλυση γωνίας Κερ: 0,3 Mdeg (RMS)
- Επαναληψιμότητα δείγματος: Καλύτερη από 10 μm
- Ομοιότητα μαγνητικού πεδίου: Καλύτερη από ± 1%@Φ1 mm
- Αποτελεσματικότητα δοκιμής: 12 WPH@±1,3 T /9 σημεία μέτρησης/200 mm Wafer
- ΕΠΕΜ: Προαιρετικό
Τεχνικές παραμέτρους:
Δραστηριότητες δοκιμής | Μη καταστροφική μέτρηση κυκλώματος υστερέσεως μαγνητικών σωλήνων/εξοπλισμού, αυτόματη εξαγωγή πληροφοριών κυκλώματος υστερέσεως (ελεύθερο στρώμα και εδραιωμένο στρώμα Hc, Hex, M (τιμή γωνίας Kerr) ·Και ταχεία χαρτογράφηση της μαγνητικής κατανομής των χαρακτηριστικών των πλακών |
Χρόνος λειτουργίας | 90% |
ΕΤΜΕ | Εναλλακτικό |
Ομοιότητα μαγνητικού πεδίου | Καλύτερα από ± 1%@Φ1 mm |
Ανάλυση γωνίας Κερ | 0.3 Mdeg (RMS) |
Μέγεθος δείγματος | Συμβατό με 12 ίντσες και κάτω, υποστηρίζει δοκιμή θραύσματος |
Μαγνητικό πεδίο | Βόρεια ±2,4 T· σε επίπεδο ±1,3 T |
Δοκιμαστική αποτελεσματικότητα | 12 WPH@±1.3 T /9 Μέτρηση τόπων/200 mm Wafer |
Επαναληψιμότητα δείγματος | Καλύτερα από 10 μm |
Ανάλυση μαγνητικού πεδίου | Κανονισμός ανατροφοδότησης κλειστού κυκλώματος PID, 0,01 MT |
Εφαρμογές:
Το Wafer-MOKE της Truth Instruments είναι ένα προηγμένο εργαλείο μαγνητικής μετρολογίας που έχει σχεδιαστεί για ακριβείς μετρήσεις κυκλώματος υστερέσεως σε μαγνητικές πλάκες λεπτής ταινίας.καταγωγής Κίνας, προσφέρει απαράμιλλη ακρίβεια και αποτελεσματικότητα στον χαρακτηρισμό των μαγνητικών ιδιοτήτων.
Με το Wafer-MOKE, οι ερευνητές και οι κατασκευαστές μπορούν να εκτελέσουν μετρήσεις κυκλώματος υστερέσης σε επίπεδο κυκλώματος σε διάφορες περιπτώσεις εφαρμογής και σενάρια.Η προαιρετική ολοκλήρωση EFEM επιτρέπει την απρόσκοπτη αυτοματοποίηση και ενσωμάτωση σε υφιστάμενες διεργασίες κατασκευής ημιαγωγών, βελτιώνοντας την παραγωγικότητα και μειώνοντας τη χειροκίνητη παρέμβαση.
Ένα από τα βασικά χαρακτηριστικά του Wafer-MOKE είναι οι ευπροσάρμοστες δυνατότητες μαγνητικού πεδίου του.που καλύπτει ένα ευρύ φάσμα απαιτήσεων δοκιμής μαγνητικών υλικώνΕπιπλέον, η ομοιομορφία του μαγνητικού πεδίου που είναι καλύτερη από ± 1% σε φ1 mm εξασφαλίζει αξιόπιστα και συνεπή αποτελέσματα μετρήσεων σε όλη την πλάκα.
Για την παγκόσμια ανίχνευση και τον έλεγχο ποιότητας στη βιομηχανία ημιαγωγών, το Wafer-MOKE προσφέρει εξαιρετικό χρόνο λειτουργίας 90%, εξασφαλίζοντας συνεχή λειτουργία και ελάχιστο χρόνο διακοπής.Αυτό το υψηλό ποσοστό λειτουργίας είναι κρίσιμο για την κάλυψη των απαιτήσεων παραγωγής και τη διατήρηση της απόδοσης στις διαδικασίες ελέγχου μαγνητικών πλακών.
Επιπλέον, το Wafer-MOKE διαθέτει εντυπωσιακή επαναληψιμότητα δειγμάτων, με αποτελέσματα καλύτερα από 10 μm.όταν οι ακριβείς και αναπαραγωγικές μετρήσεις είναι πρωταρχικής σημασίας.
Συνολικά, το Truth Instruments Wafer-MOKE είναι μια state-of-the-art λύση για την επιθεώρηση μαγνητικών πλακών λεπτού φιλμ, προσφέροντας απαράμιλλη απόδοση και αξιοπιστία σε εφαρμογές μαγνητικής μετρολογίας.