Sistema MOKE de nivel de oblea 0.3 Mdeg para bucles de histeresis rápida y control de procesos

Descripción del producto:

El Instrumento de Medición de Bucles de Histéresis a Nivel de Oblea es una herramienta de vanguardia diseñada para la medición no destructiva de bucles de histéresis de pilas/dispositivos magnéticos, la extracción automática de información de bucles de histéresis, incluyendo Hc, Hex y M (valor del ángulo de Kerr) de la capa libre y la capa fijada, así como el mapeo rápido de la distribución de características magnéticas de la oblea.

Con un impresionante tiempo de actividad del 90%, este instrumento garantiza un rendimiento fiable y consistente para sus necesidades de prueba. Sus funciones de prueba avanzadas permiten a los usuarios medir y analizar con precisión las propiedades magnéticas de diversos materiales con facilidad y eficiencia.

Una de las características clave de este instrumento es su eficiencia de prueba, que ofrece un alto rendimiento de 12 WPH a ±1,3 T /9 mediciones de sitios/oblea de 200 mm. Esta excepcional velocidad de prueba permite una recopilación de datos rápida y precisa, lo que lo hace ideal para entornos de producción de alto volumen.

Para mayor flexibilidad, el instrumento también ofrece una integración EFEM (Módulo Frontal de Equipamiento) opcional, lo que permite una integración perfecta con los sistemas de procesamiento de obleas existentes.

El Instrumento de Medición de Bucles de Histéresis a Nivel de Oblea cuenta con una resolución de campo magnético de regulación de retroalimentación de bucle cerrado PID, lo que garantiza mediciones precisas y exactas con una resolución de 0,01 MT. Este nivel de precisión es crucial para el análisis y la caracterización en profundidad de los materiales magnéticos.

En general, este instrumento avanzado es una solución versátil para aplicaciones de magnetómetros de obleas, mediciones MOKE (Efecto Kerr Magneto-Óptico) a escala de oblea y metrología de espintrónica. Sus características innovadoras y capacidades de alto rendimiento lo convierten en una herramienta esencial para investigadores y fabricantes que trabajan en el campo de los materiales magnéticos y la espintrónica.

Características:

• Nombre del producto: Instrumento de medición de bucles de histéresis a nivel de oblea
• Resolución del ángulo de Kerr: 0,3 mdeg (RMS)
• Repetibilidad de la muestra: Mejor que 10 μm
• Uniformidad del campo magnético: Mejor que ±1%@Φ1 Mm
• Eficiencia de prueba: 12 WPH@±1,3 T /9 mediciones de sitios/oblea de 200 mm
• EFEM: Opcional

Parámetros técnicos:

Aplicaciones:

El Wafer-MOKE de Truth Instruments es una herramienta de metrología magnética de vanguardia diseñada para mediciones precisas de bucles de histéresis en obleas magnéticas de película delgada. Este innovador instrumento, originario de China, ofrece una precisión y eficiencia sin igual en la caracterización de propiedades magnéticas.

Con el Wafer-MOKE, los investigadores y fabricantes pueden realizar mediciones de bucles de histéresis a nivel de oblea en una variedad de ocasiones y escenarios de aplicación. La integración EFEM opcional permite la automatización y la integración perfectas en los procesos de fabricación de semiconductores existentes, lo que mejora la productividad y reduce la intervención manual.

Una de las características clave del Wafer-MOKE son sus versátiles capacidades de campo magnético. El instrumento puede generar campos magnéticos verticales de hasta ±2,4 T y campos magnéticos en el plano de hasta ±1,3 T, lo que satisface una amplia gama de requisitos de prueba de materiales magnéticos. Además, la uniformidad del campo magnético de mejor que ±1% a Φ1 mm garantiza resultados de medición fiables y consistentes en toda la oblea.

Para la detección global y el control de calidad en la industria de los semiconductores, el Wafer-MOKE ofrece un tiempo de actividad excepcional del 90%, lo que garantiza un funcionamiento continuo y un tiempo de inactividad mínimo. Este alto porcentaje de tiempo de actividad es crucial para satisfacer las demandas de producción y mantener el rendimiento en los procesos de inspección de obleas magnéticas.

Además, el Wafer-MOKE cuenta con una impresionante repetibilidad de la muestra, con resultados mejores que 10 μm. Este nivel de precisión es esencial para las actividades de investigación y desarrollo, donde las mediciones precisas y reproducibles son primordiales.

En general, el Truth Instruments Wafer-MOKE es una solución de última generación para la inspección de obleas magnéticas de película delgada, que ofrece un rendimiento y una fiabilidad inigualables en aplicaciones de metrología magnética.