Sistema MOKE de Nível de Wafer 0,3 Mdeg para Loops de Histerese Rápida e Controle de Processo

Descrição do Produto:

O Instrumento de Medição de Laço de Histerese em Nível de Bolacha é uma ferramenta de ponta projetada para medição não destrutiva de laços de histerese de pilhas/dispositivos magnéticos, extração automática de informações de laço de histerese, incluindo camada livre e camada fixa Hc, Hex e M (valor do ângulo de Kerr), bem como mapeamento rápido da distribuição de características magnéticas da bolacha.

Com um tempo de atividade impressionante de 90%, este instrumento garante um desempenho confiável e consistente para suas necessidades de teste. Suas funções de teste avançadas permitem que os usuários meçam e analisem com precisão as propriedades magnéticas de vários materiais com facilidade e eficiência.

Uma das principais características deste instrumento é sua eficiência de teste, oferecendo uma alta taxa de transferência de 12 WPH a ±1,3 T /9 medições de locais/bolacha de 200 mm. Essa velocidade de teste excepcional permite a coleta rápida e precisa de dados, tornando-o ideal para ambientes de produção de alto volume.

Para maior flexibilidade, o instrumento também oferece uma integração EFEM (Equipment Front End Module) opcional, permitindo uma integração perfeita com os sistemas de processamento de bolachas existentes.

O Instrumento de Medição de Laço de Histerese em Nível de Bolacha possui uma resolução de campo magnético de regulagem de feedback de circuito fechado PID, garantindo medições precisas e exatas com uma resolução de 0,01 MT. Esse nível de precisão é crucial para análise e caracterização aprofundadas de materiais magnéticos.

No geral, este instrumento avançado é uma solução versátil para aplicações de magnetômetro de bolacha, medições MOKE (Efeito Magneto-Óptico de Kerr) em escala de bolacha e metrologia de espintrônica. Seus recursos inovadores e capacidades de alto desempenho o tornam uma ferramenta essencial para pesquisadores e fabricantes que trabalham no campo de materiais magnéticos e espintrônica.

Recursos:

• Nome do Produto: Instrumento de Medição de Laço de Histerese em Nível de Bolacha
• Resolução do Ângulo de Kerr: 0,3 Mdeg (RMS)
• Repetibilidade da Amostra: Melhor que 10 μm
• Uniformidade do Campo Magnético: Melhor que ±1%@Φ1 Mm
• Eficiência de Teste: 12 WPH@±1,3 T /9 Medições de Locais/Bolacha de 200 Mm
• EFEM: Opcional

Parâmetros Técnicos:

Aplicações:

O Wafer-MOKE da Truth Instruments é uma ferramenta de metrologia magnética de ponta projetada para medições precisas de laços de histerese em bolachas magnéticas de filme fino. Este instrumento inovador, originário da China, oferece precisão e eficiência incomparáveis na caracterização de propriedades magnéticas.

Com o Wafer-MOKE, pesquisadores e fabricantes podem realizar medições de laços de histerese em nível de bolacha em uma variedade de ocasiões e cenários de aplicação. A integração EFEM opcional permite a automação e integração perfeitas nos processos de fabricação de semicondutores existentes, aprimorando a produtividade e reduzindo a intervenção manual.

Uma das principais características do Wafer-MOKE são seus versáteis recursos de campo magnético. O instrumento pode gerar campos magnéticos verticais de até ±2,4 T e campos magnéticos no plano de até ±1,3 T, atendendo a uma ampla gama de requisitos de teste de materiais magnéticos. Além disso, a uniformidade do campo magnético de melhor que ±1% a Φ1 mm garante resultados de medição confiáveis e consistentes em toda a bolacha.

Para detecção global e controle de qualidade na indústria de semicondutores, o Wafer-MOKE oferece um tempo de atividade excepcional de 90%, garantindo operação contínua e tempo de inatividade mínimo. Essa alta porcentagem de tempo de atividade é crucial para atender às demandas de produção e manter a taxa de transferência nos processos de inspeção de bolachas magnéticas.

Além disso, o Wafer-MOKE possui uma impressionante repetibilidade de amostra, com resultados melhores que 10 μm. Esse nível de precisão é essencial para atividades de pesquisa e desenvolvimento, onde medições precisas e reproduzíveis são primordiais.

No geral, o Truth Instruments Wafer-MOKE é uma solução de última geração para inspeção de bolachas magnéticas de filme fino, oferecendo desempenho e confiabilidade incomparáveis em aplicações de metrologia magnética.