
نظام MOKE على مستوى الرقاقة 0.3 درجة ميلان لقياس حلقات التخلف السريع والتحكم في العمليات
نظام MOKE على مستوى الرقاقة,نظام MOKE 0.3 درجة ميلان,نظام قياس الرقاقة 0.3 درجة ميلان
,MOKE System 0.3 Mdeg
,0.3 Mdeg Wafer Measurement System
الخصائص الأساسية
تداول العقارات
قياس حلقات التباطؤ على مستوى الرقاقة باستخدام تأثير كير المغناطيسي (MOKE) للحلقات السريعة والتحكم في العمليات
وصف المنتج:
جهاز قياس حلقات التباطؤ على مستوى الرقاقة هو أداة متطورة مصممة لقياس حلقات التباطؤ غير المدمر للركائز/الأجهزة المغناطيسية، والاستخلاص التلقائي لمعلومات حلقة التباطؤ بما في ذلك Hc و Hex و M (قيمة زاوية كير) للطبقة الحرة والطبقة المثبتة، بالإضافة إلى التخطيط السريع لتوزيع الخصائص المغناطيسية للرقاقة.
بفضل وقت تشغيل مثير للإعجاب يبلغ 90٪، يضمن هذا الجهاز أداءً موثوقًا ومتسقًا لتلبية احتياجات الاختبار الخاصة بك. تتيح وظائف الاختبار المتقدمة للمستخدمين قياس وتحليل الخصائص المغناطيسية لمختلف المواد بدقة وسهولة وكفاءة.
تتمثل إحدى الميزات الرئيسية لهذا الجهاز في كفاءة الاختبار، حيث يوفر إنتاجية عالية تبلغ 12 WPH عند قياس ±1.3 T /9 مواقع/رقاقة 200 مم. تسمح سرعة الاختبار الاستثنائية هذه بجمع البيانات بسرعة ودقة، مما يجعلها مثالية لبيئات الإنتاج ذات الحجم الكبير.
لمزيد من المرونة، يوفر الجهاز أيضًا تكامل EFEM (وحدة الواجهة الأمامية للمعدات) الاختياري، مما يسمح بالتكامل السلس مع أنظمة معالجة الرقاقات الحالية.
يتميز جهاز قياس حلقات التباطؤ على مستوى الرقاقة بدقة مجال مغناطيسي تبلغ 0.01 MT، مما يضمن قياسات دقيقة ودقيقة. يعد هذا المستوى من الدقة أمرًا بالغ الأهمية للتحليل المتعمق وتوصيف المواد المغناطيسية.
بشكل عام، هذا الجهاز المتقدم هو حل متعدد الاستخدامات لتطبيقات مقياس المغناطيسية للرقاقات، وقياسات MOKE (تأثير كير المغناطيسي البصري) على مستوى الرقاقة، وقياسات الإلكترونيات الدورانية. تجعل ميزاته المبتكرة وقدراته عالية الأداء أداة أساسية للباحثين والمصنعين الذين يعملون في مجال المواد المغناطيسية والإلكترونيات الدورانية.
الميزات:
- اسم المنتج: جهاز قياس حلقات التباطؤ على مستوى الرقاقة
- دقة زاوية كير: 0.3 Mdeg (RMS)
- إمكانية تكرار العينة: أفضل من 10 ميكرومتر
- توحيد المجال المغناطيسي: أفضل من ±1%@Φ1 مم
- كفاءة الاختبار: 12 WPH@±1.3 T /9 مواقع قياس/رقاقة 200 مم
- EFEM: اختياري
المعايير الفنية:
وظائف الاختبار | قياس حلقات التباطؤ غير المدمر للركائز/الأجهزة المغناطيسية، والاستخلاص التلقائي لمعلومات حلقة التباطؤ (Hc و Hex و M (قيمة زاوية كير) للطبقة الحرة والطبقة المثبتة)، والتخطيط السريع لتوزيع الخصائص المغناطيسية للرقاقة |
وقت التشغيل | 90% |
EFEM | اختياري |
توحيد المجال المغناطيسي | أفضل من ±1%@Φ1 مم |
دقة زاوية كير | 0.3 Mdeg (RMS) |
حجم العينة | متوافق مع 12 بوصة وما دونها، ويدعم اختبار الأجزاء |
المجال المغناطيسي | رأسي ±2.4 T؛ مستوى ±1.3 T |
كفاءة الاختبار | 12 WPH@±1.3 T /9 مواقع قياس/رقاقة 200 مم |
إمكانية تكرار العينة | أفضل من 10 ميكرومتر |
دقة المجال المغناطيسي | تنظيم ردود الفعل بحلقة مغلقة PID، 0.01 MT |
التطبيقات:
أداة Truth Instruments' Wafer-MOKE هي أداة قياس مغناطيسية متطورة مصممة لقياسات دقيقة لحلقة التباطؤ على رقائق مغناطيسية رقيقة. توفر هذه الأداة المبتكرة، التي نشأت في الصين، دقة وكفاءة لا مثيل لها في توصيف الخصائص المغناطيسية.
باستخدام Wafer-MOKE، يمكن للباحثين والمصنعين إجراء قياسات حلقة التباطؤ على مستوى الرقاقة في مجموعة متنوعة من مناسبات وسيناريوهات التطبيق. يتيح تكامل EFEM الاختياري التشغيل الآلي والتكامل السلس في عمليات تصنيع أشباه الموصلات الحالية، مما يعزز الإنتاجية ويقلل التدخل اليدوي.
تتمثل إحدى الميزات الرئيسية لـ Wafer-MOKE في قدرات المجال المغناطيسي المتنوعة. يمكن للأداة توليد مجالات مغناطيسية رأسية تصل إلى ±2.4 T ومجالات مغناطيسية في المستوى تصل إلى ±1.3 T، مما يلبي مجموعة واسعة من متطلبات اختبار المواد المغناطيسية. علاوة على ذلك، يضمن توحيد المجال المغناطيسي الأفضل من ±1% عند Φ1 مم نتائج قياس موثوقة ومتسقة عبر الرقاقة.
للكشف العالمي ومراقبة الجودة في صناعة أشباه الموصلات، يوفر Wafer-MOKE وقت تشغيل استثنائيًا يبلغ 90٪، مما يضمن التشغيل المستمر وتقليل وقت التوقف عن العمل. تعد هذه النسبة المئوية العالية لوقت التشغيل أمرًا بالغ الأهمية لتلبية متطلبات الإنتاج والحفاظ على الإنتاجية في عمليات فحص الرقائق المغناطيسية.
بالإضافة إلى ذلك، يتميز Wafer-MOKE بإمكانية تكرار عينة رائعة، مع نتائج أفضل من 10 ميكرومتر. يعد هذا المستوى من الدقة ضروريًا لأنشطة البحث والتطوير، حيث تكون القياسات الدقيقة والقابلة للتكرار ذات أهمية قصوى.
بشكل عام، يعد Truth Instruments Wafer-MOKE حلاً حديثًا لفحص الرقائق المغناطيسية الرقيقة، مما يوفر أداءً وموثوقية لا مثيل لهما في تطبيقات القياس المغناطيسي.