Système MOKE de niveau de gaufre 0,3 Mdeg pour les boucles d'hystérésis rapide et le contrôle des processus

Description du produit :

L'instrument de mesure des boucles d'hystérésis au niveau de la plaquette est un outil de pointe conçu pour la mesure non destructive des boucles d'hystérésis des empilements/dispositifs magnétiques, l'extraction automatique des informations des boucles d'hystérésis, y compris Hc, Hex et M (valeur de l'angle de Kerr) de la couche libre et de la couche épinglée, ainsi que la cartographie rapide de la distribution des caractéristiques magnétiques de la plaquette.

Avec un temps de fonctionnement impressionnant de 90 %, cet instrument garantit des performances fiables et constantes pour vos besoins de test. Ses fonctions de test avancées permettent aux utilisateurs de mesurer et d'analyser avec précision les propriétés magnétiques de divers matériaux avec facilité et efficacité.

L'une des principales caractéristiques de cet instrument est son efficacité de test, offrant un débit élevé de 12 WPH à ±1,3 T /9 sites de mesure/plaquette de 200 mm. Cette vitesse de test exceptionnelle permet une collecte de données rapide et précise, ce qui le rend idéal pour les environnements de production à volume élevé.

Pour plus de flexibilité, l'instrument propose également une intégration EFEM (Equipment Front End Module) en option, permettant une intégration transparente avec les systèmes de traitement de plaquettes existants.

L'instrument de mesure des boucles d'hystérésis au niveau de la plaquette bénéficie d'une résolution de champ magnétique de régulation à rétroaction en boucle fermée PID, garantissant des mesures précises et exactes avec une résolution de 0,01 MT. Ce niveau de précision est crucial pour l'analyse et la caractérisation approfondies des matériaux magnétiques.

Dans l'ensemble, cet instrument avancé est une solution polyvalente pour les applications de magnétomètre de plaquettes, les mesures MOKE (effet magnéto-optique de Kerr) à l'échelle de la plaquette et la métrologie spintronique. Ses caractéristiques innovantes et ses capacités de haute performance en font un outil essentiel pour les chercheurs et les fabricants travaillant dans le domaine des matériaux magnétiques et de la spintronique.

Caractéristiques :

• Nom du produit : Instrument de mesure des boucles d'hystérésis au niveau de la plaquette
• Résolution de l'angle de Kerr : 0,3 mdeg (RMS)
• Répétabilité de l'échantillon : supérieure à 10 µm
• Uniformité du champ magnétique : supérieure à ±1 %@Φ1 Mm
• Efficacité des tests : 12 WPH@±1,3 T /9 sites de mesure/plaquette de 200 Mm
• EFEM : en option

Paramètres techniques :

Applications :

Le Wafer-MOKE de Truth Instruments est un outil de métrologie magnétique de pointe conçu pour des mesures précises des boucles d'hystérésis sur les plaquettes magnétiques à couches minces. Cet instrument innovant, originaire de Chine, offre une précision et une efficacité inégalées dans la caractérisation des propriétés magnétiques.

Avec le Wafer-MOKE, les chercheurs et les fabricants peuvent effectuer des mesures de boucles d'hystérésis au niveau de la plaquette dans diverses occasions et scénarios d'application. L'intégration EFEM en option permet une automatisation et une intégration transparentes dans les processus de fabrication de semi-conducteurs existants, améliorant la productivité et réduisant l'intervention manuelle.

L'une des principales caractéristiques du Wafer-MOKE est ses capacités de champ magnétique polyvalentes. L'instrument peut générer des champs magnétiques verticaux jusqu'à ±2,4 T et des champs magnétiques dans le plan jusqu'à ±1,3 T, répondant à un large éventail d'exigences de test de matériaux magnétiques. De plus, l'uniformité du champ magnétique supérieure à ±1 % à Φ1 mm garantit des résultats de mesure fiables et cohérents sur toute la plaquette.

Pour la détection globale et le contrôle qualité dans l'industrie des semi-conducteurs, le Wafer-MOKE offre un temps de fonctionnement exceptionnel de 90 %, garantissant un fonctionnement continu et un temps d'arrêt minimal. Ce pourcentage de disponibilité élevé est crucial pour répondre aux demandes de production et maintenir le débit dans les processus d'inspection des plaquettes magnétiques.

De plus, le Wafer-MOKE bénéficie d'une répétabilité d'échantillon impressionnante, avec des résultats supérieurs à 10 µm. Ce niveau de précision est essentiel pour les activités de recherche et développement, où des mesures précises et reproductibles sont primordiales.

Dans l'ensemble, le Wafer-MOKE de Truth Instruments est une solution de pointe pour l'inspection des plaquettes magnétiques à couches minces, offrant des performances et une fiabilité inégalées dans les applications de métrologie magnétique.