
Sistem MOKE Tingkat Wafer 0.3 Mdeg Untuk Loop Histeresis Cepat Dan Kontrol Proses
Sistem MOKE Tingkat Wafer
,Sistem MOKE 0.3 Mdeg
,Sistem Pengukuran Wafer 0.3 Mdeg
Properti Dasar
Properti Perdagangan
MOKE Tingkat Wafer Untuk Lompatan Histeresis Cepat Dan Pengendalian Proses
Deskripsi produk:
Wafer-Level Hysteresis Loop Measurement Instrument adalah alat mutakhir yang dirancang untuk pengukuran loop hysteresis non-destruktif dari tumpukan/perangkat magnetik,Ekstraksi otomatis dari informasi hysteresis loop termasuk lapisan bebas dan lapisan terikat Hc, Hex, dan M (nilai sudut Kerr), serta pemetaan cepat distribusi karakteristik magnet wafer.
Dengan waktu operasi yang mengesankan 90%, instrumen ini memastikan kinerja yang dapat diandalkan dan konsisten untuk kebutuhan pengujian Anda.Fungsi pengujian canggihnya memungkinkan pengguna untuk secara akurat mengukur dan menganalisis sifat magnetik berbagai bahan dengan mudah dan efisien.
Salah satu fitur utama dari instrumen ini adalah efisiensi pengujian, menawarkan throughput tinggi 12 WPH pada ±1.3 T / 9 lokasi pengukuran/200 mm wafer.Kecepatan pengujian yang luar biasa ini memungkinkan pengumpulan data yang cepat dan akurat, membuatnya ideal untuk lingkungan produksi bervolume tinggi.
Untuk fleksibilitas tambahan, instrumen ini juga menawarkan integrasi EFEM (Equipment Front End Module) opsional, yang memungkinkan integrasi yang mulus dengan sistem pengolahan wafer yang ada.
Wafer-Level Hysteresis Loop Measurement Instrument memiliki resolusi medan magnet dari regulasi umpan balik PID loop tertutup, memastikan pengukuran yang tepat dan akurat dengan resolusi 0.01 MTTingkat presisi ini sangat penting untuk analisis mendalam dan karakterisasi bahan magnetik.
Secara keseluruhan, instrumen canggih ini adalah solusi serbaguna untuk aplikasi magnetometer wafer, pengukuran skala wafer MOKE (Magneto-Optical Kerr Effect), dan metrologi spintronics.Fitur inovatif dan kemampuan kinerja tinggi membuatnya menjadi alat penting bagi peneliti dan produsen yang bekerja di bidang bahan magnetik dan spintronik.
Fitur:
- Nama produk: Wafer-Level Hysteresis Loop Measurement Instrument
- Resolusi sudut Kerr: 0,3 Mdeg (RMS)
- Pengulangan sampel: Lebih baik dari 10 μm
- Keseragaman medan magnet: Lebih baik dari ± 1%@Φ1 mm
- Efisiensi pengujian: 12 WPH@±1,3 T /9 Situs Pengukuran/200 Mm Wafer
- EFEM: Opsional
Parameter teknis:
Fungsi pengujian | Pengukuran loop hysteresis non-destruktif dari tumpukan/perangkat magnetik, Ekstraksi otomatis dari informasi loop hysteresis (lapisan bebas dan lapisan Hc, Hex, M (nilai sudut Kerr)Dan Pemetaan Cepat Distribusi Karakteristik Magnetik Wafer |
Waktu aktif | 90% |
EFEM | Opsional |
Keseragaman medan magnet | Lebih baik dari ± 1%@Φ1 mm |
Resolusi sudut Kerr | 0.3 Mdeg (RMS) |
Ukuran Sampel | Kompatibel dengan 12 inci dan di bawahnya, mendukung pengujian fragmen |
medan magnet | Vertikal ±2,4 T; In-plane ±1,3 T |
Pengujian Efisiensi | 12 WPH@±1.3 T /9 Situs Pengukuran/200 mm Wafer |
Pengulangan Sampel | Lebih baik dari 10 μm |
Resolusi medan magnet | PID Peraturan umpan balik loop tertutup, 0,01 MT |
Aplikasi:
Wafer-MOKE dari Truth Instruments adalah alat metrologi magnet canggih yang dirancang untuk pengukuran loop histeresis yang tepat pada wafer magnet film tipis.Berasal dari Cina, menawarkan akurasi dan efisiensi yang tak tertandingi dalam menggambarkan sifat magnetik.
Dengan Wafer-MOKE, peneliti dan produsen dapat melakukan pengukuran loop histeresis tingkat wafer dalam berbagai kesempatan dan skenario aplikasi.Integrasi EFEM opsional memungkinkan otomatisasi dan integrasi yang mulus ke dalam proses manufaktur semikonduktor yang ada, meningkatkan produktivitas dan mengurangi intervensi manual.
Salah satu fitur utama dari Wafer-MOKE adalah kemampuan medan magnet yang serbaguna.melayani berbagai persyaratan pengujian bahan magnetikSelain itu, keseragaman medan magnet yang lebih baik dari ± 1% pada Φ1 mm memastikan hasil pengukuran yang dapat diandalkan dan konsisten di seluruh wafer.
Untuk deteksi global dan kontrol kualitas di industri semikonduktor, Wafer-MOKE menawarkan waktu operasi yang luar biasa sebesar 90%, memastikan operasi terus menerus dan downtime minimal.Persentase uptime yang tinggi ini sangat penting untuk memenuhi permintaan produksi dan mempertahankan throughput dalam proses inspeksi wafer magnetik.
Selain itu, Wafer-MOKE menawarkan pengulangan sampel yang mengesankan, dengan hasil yang lebih baik dari 10 μm. Tingkat presisi ini penting untuk kegiatan penelitian dan pengembangan,di mana pengukuran yang akurat dan dapat direproduksi sangat penting.
Secara keseluruhan, Truth Instruments Wafer-MOKE adalah solusi mutakhir untuk inspeksi wafer magnet film tipis, menawarkan kinerja dan keandalan yang tak tertandingi dalam aplikasi metrologi magnetik.