ระบบ MOKE ระดับเวเฟอร์ 0.3 Mdeg สำหรับลูปฮิสเทอรีซิสอย่างรวดเร็วและการควบคุมกระบวนการ

รายละเอียดสินค้า:

เครื่องมือวัดวงวนฮิสเทอรีซิสระดับเวเฟอร์เป็นเครื่องมือล้ำสมัยที่ออกแบบมาสำหรับการวัดวงวนฮิสเทอรีซิสแบบไม่ทำลายของสแต็ก/อุปกรณ์แม่เหล็ก การดึงข้อมูลวงวนฮิสเทอรีซิสอัตโนมัติ รวมถึง Hc, Hex และ M (ค่ามุม Kerr) ของชั้นอิสระและชั้นที่ตรึงไว้ รวมถึงการทำแผนที่อย่างรวดเร็วของการกระจายลักษณะเฉพาะของแม่เหล็กของเวเฟอร์

ด้วยเวลาทำงานที่น่าประทับใจถึง 90% เครื่องมือนี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอสำหรับความต้องการในการทดสอบของคุณ ฟังก์ชันการทดสอบขั้นสูงช่วยให้ผู้ใช้สามารถวัดและวิเคราะห์คุณสมบัติทางแม่เหล็กของวัสดุต่างๆ ได้อย่างแม่นยำและมีประสิทธิภาพ

หนึ่งในคุณสมบัติหลักของเครื่องมือนี้คือประสิทธิภาพการทดสอบ ซึ่งให้ปริมาณงานสูงถึง 12 WPH ที่ ±1.3 T /9 การวัดไซต์/เวเฟอร์ 200 มม. ความเร็วในการทดสอบที่ยอดเยี่ยมนี้ช่วยให้สามารถรวบรวมข้อมูลได้อย่างรวดเร็วและแม่นยำ ทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมการผลิตที่มีปริมาณมาก

เพื่อเพิ่มความยืดหยุ่น เครื่องมือนี้ยังมีตัวเลือกการรวม EFEM (Equipment Front End Module) ซึ่งช่วยให้สามารถรวมเข้ากับระบบการประมวลผลเวเฟอร์ที่มีอยู่ได้อย่างราบรื่น

เครื่องมือวัดวงวนฮิสเทอรีซิสระดับเวเฟอร์มีความละเอียดของสนามแม่เหล็กในการควบคุมข้อเสนอแนะแบบ PID แบบวงปิด ทำให้มั่นใจได้ถึงการวัดที่แม่นยำและแม่นยำด้วยความละเอียด 0.01 MT ความแม่นยำระดับนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับการวิเคราะห์เชิงลึกและการจำแนกคุณสมบัติของวัสดุแม่เหล็ก

โดยรวมแล้ว เครื่องมือขั้นสูงนี้เป็นโซลูชันอเนกประสงค์สำหรับการใช้งานเครื่องวัดแม่เหล็กเวเฟอร์ การวัด MOKE (Magneto-Optical Kerr Effect) ระดับเวเฟอร์ และมาตรวิทยาของสปินโทรนิกส์ คุณสมบัติที่เป็นนวัตกรรมใหม่และความสามารถในการทำงานสูงทำให้เป็นเครื่องมือสำคัญสำหรับนักวิจัยและผู้ผลิตที่ทำงานในด้านวัสดุแม่เหล็กและสปินโทรนิกส์

คุณสมบัติ:

• ชื่อผลิตภัณฑ์: เครื่องมือวัดวงวนฮิสเทอรีซิสระดับเวเฟอร์
• ความละเอียดมุม Kerr: 0.3 Mdeg (RMS)
• ความสามารถในการทำซ้ำของตัวอย่าง: ดีกว่า 10 μm
• ความสม่ำเสมอของสนามแม่เหล็ก: ดีกว่า ±1%@Φ1 มม.
• ประสิทธิภาพการทดสอบ: 12 WPH@±1.3 T /9 การวัดไซต์/เวเฟอร์ 200 มม.
• EFEM: ตัวเลือก

พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

แอปพลิเคชัน:

Wafer-MOKE ของ Truth Instruments เป็นเครื่องมือวัดแม่เหล็กที่ทันสมัย ​​ซึ่งออกแบบมาสำหรับการวัดวงวนฮิสเทอรีซิสที่แม่นยำบนเวเฟอร์แม่เหล็กฟิล์มบาง เครื่องมือที่เป็นนวัตกรรมใหม่นี้ ซึ่งมีต้นกำเนิดจากประเทศจีน ให้ความแม่นยำและประสิทธิภาพที่เหนือชั้นในการจำแนกคุณสมบัติทางแม่เหล็ก

ด้วย Wafer-MOKE นักวิจัยและผู้ผลิตสามารถทำการวัดวงวนฮิสเทอรีซิสระดับเวเฟอร์ได้ในโอกาสและสถานการณ์การใช้งานที่หลากหลาย การรวม EFEM เป็นตัวเลือกช่วยให้สามารถทำงานอัตโนมัติและรวมเข้ากับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีอยู่ได้อย่างราบรื่น ซึ่งช่วยเพิ่มผลผลิตและลดการแทรกแซงด้วยตนเอง

หนึ่งในคุณสมบัติหลักของ Wafer-MOKE คือความสามารถของสนามแม่เหล็กที่หลากหลาย เครื่องมือนี้สามารถสร้างสนามแม่เหล็กแนวตั้งได้สูงถึง ±2.4 T และสนามแม่เหล็กในระนาบได้สูงถึง ±1.3 T ซึ่งตอบสนองความต้องการในการทดสอบวัสดุแม่เหล็กที่หลากหลาย นอกจากนี้ ความสม่ำเสมอของสนามแม่เหล็กที่ดีกว่า ±1% ที่ Φ1 มม. ช่วยให้มั่นใจได้ถึงผลการวัดที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอทั่วทั้งเวเฟอร์

สำหรับการตรวจจับและการควบคุมคุณภาพทั่วโลกในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ Wafer-MOKE ให้เวลาทำงานที่ยอดเยี่ยมถึง 90% ทำให้มั่นใจได้ถึงการทำงานอย่างต่อเนื่องและลดเวลาหยุดทำงานให้น้อยที่สุด เปอร์เซ็นต์เวลาทำงานที่สูงนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการตอบสนองความต้องการในการผลิตและรักษาปริมาณงานในกระบวนการตรวจสอบเวเฟอร์แม่เหล็ก

นอกจากนี้ Wafer-MOKE ยังมีความสามารถในการทำซ้ำตัวอย่างที่น่าประทับใจ โดยมีผลลัพธ์ดีกว่า 10 μm ความแม่นยำระดับนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับกิจกรรมการวิจัยและพัฒนา ซึ่งการวัดที่แม่นยำและทำซ้ำได้มีความสำคัญสูงสุด

โดยรวมแล้ว Truth Instruments Wafer-MOKE เป็นโซลูชันที่ทันสมัยสำหรับการตรวจสอบเวเฟอร์แม่เหล็กฟิล์มบาง ซึ่งให้ประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่ไม่มีใครเทียบได้ในการใช้งานมาตรวิทยาแม่เหล็ก