Wafer Level MOKE System 0,3 Mdeg für schnelle Hysterese Schleifen und Prozesskontrolle

Beschreibung des Produkts:

Das Wafer-Level Hysteresis-Loop-Measurement Instrument ist ein hochmodernes Werkzeug, das für die nicht zerstörende Hysteresis-Loop-Messung magnetischer Stapel/Geräte entwickelt wurde.automatische Extraktion von Hysterese-Schleife-Informationen einschließlich freier Schicht und angeschlossener Schicht Hc, Hex und M (Kerr-Winkelwert), sowie eine schnelle Kartierung der magnetischen Charakteristik der Waferverteilung.

Mit einer beeindruckenden Betriebszeit von 90% gewährleistet dieses Instrument eine zuverlässige und gleichbleibende Leistung für Ihre Testbedürfnisse.Die fortschrittlichen Prüffunktionen ermöglichen es Benutzern, die magnetischen Eigenschaften verschiedener Materialien einfach und effizient genau zu messen und zu analysieren.

Einer der wichtigsten Merkmale dieses Instruments ist seine Prüfwirksamkeit, da er bei ±1,3 T /9 Standortmessung/200 mm Wafer einen hohen Durchsatz von 12 WPH bietet.Diese außergewöhnliche Testgeschwindigkeit ermöglicht eine schnelle und präzise Datenerhebung, so dass es ideal für Produktionsumgebungen mit hohem Volumen ist.

Für mehr Flexibilität bietet das Gerät auch eine optionale EFEM-Integration (Equipment Front End Module), die eine nahtlose Integration in bestehende Waferverarbeitungssysteme ermöglicht.

Das Wafer-Level Hysteresis Loop Measurement Instrument verfügt über eine Magnetfeld-Auflösung der PID-Schließschlusse-Feedback-Regulation, die präzise und genaue Messungen mit einer Auflösung von 0 gewährleistet.01 MTDiese Präzisionsstufe ist entscheidend für die gründliche Analyse und Charakterisierung magnetischer Materialien.

Insgesamt ist dieses fortschrittliche Instrument eine vielseitige Lösung für Wafer-Magnetometeranwendungen, Wafer-Skala-MOKE-Messungen (Magneto-Optical Kerr-Effekt) und Spintronik-Metrologie.Seine innovativen Eigenschaften und hohe Leistungsfähigkeit machen ihn zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Forscher und Hersteller im Bereich magnetischer Materialien und Spintronik.

Eigenschaften:

• Produktbezeichnung: Wafer-Level Hysterese-Loop-Messgerät
• Auflösung des Kerr-Winkels: 0,3 Mdeg (RMS)
• Probenwiederholbarkeit: besser als 10 μm
• Einheitlichkeit des Magnetfeldes: besser als ± 1%@Φ1 mm
• Prüfwirksamkeit: 12 WPH@±1,3 T /9 Standortmessung/200 mm Wafer
• EFEM: Fakultativ

Technische Parameter:

Anwendungen:

Das Wafer-MOKE von Truth Instruments ist ein hochmodernes Werkzeug für die magnetische Messtechnik, das für präzise Messungen der Hysterese-Schleife auf dünnfilmigen Magnetwafern entwickelt wurde.mit Ursprung in China, bietet eine beispiellose Genauigkeit und Effizienz bei der Charakterisierung magnetischer Eigenschaften.

Mit dem Wafer-MOKE können Forscher und Hersteller in verschiedenen Anwendungsfällen und Szenarien Hysterese-Schleife-Messungen auf Wafer-Ebene durchführen.Die optionale EFEM-Integration ermöglicht eine nahtlose Automatisierung und Integration in bestehende Halbleiterherstellungsprozesse, die Produktivität erhöhen und manuelle Eingriffe reduzieren.

Einer der wichtigsten Merkmale des Wafer-MOKE ist seine vielseitige Magnetfeldfähigkeit.für eine breite Palette von Anforderungen an die Prüfung magnetischer MaterialienDarüber hinaus sorgt die Magnetfeldgleichheit von mehr als ± 1% bei Φ1 mm für zuverlässige und konsistente Messwerte über die Wafer hinweg.

Für die globale Erkennung und Qualitätskontrolle in der Halbleiterindustrie bietet die Wafer-MOKE eine außergewöhnliche Betriebszeit von 90%, was einen kontinuierlichen Betrieb und minimale Ausfallzeiten gewährleistet.Dieser hohe Betriebszeitraum ist entscheidend für die Erfüllung der Produktionsanforderungen und die Aufrechterhaltung des Durchsatzes bei den Prüfverfahren für Magnetwafer.

Darüber hinaus bietet der Wafer-MOKE eine beeindruckende Probenwiederholbarkeit mit Ergebnissen von mehr als 10 μm.wenn genaue und reproduzierbare Messungen von größter Bedeutung sind.

Insgesamt ist die Truth Instruments Wafer-MOKE eine hochmoderne Lösung für die Inspektion von Dünnschichtmagnetwafern, die in Magnetmetrologieanwendungen eine unübertroffene Leistung und Zuverlässigkeit bietet.