logo

System MOKE na poziomie płytki 0,3 Mdeg dla szybkich pętli histerezy i kontroli procesu

Wafer Level MOKE For Rapid Hysteresis Loops And Process Control Product Description: The Wafer-Level Hysteresis Loop Measurement Instrument is a cutting-edge tool designed for non-destructive hysteresis loop measurement of magnetic stacks/devices, automatic extraction of hysteresis loop information including free layer and pinned layer Hc, Hex, and M (Kerr angle value), as well as rapid mapping of wafer magnetic characteristic distribution. With an impressive uptime of 90%,
Szczegóły produktu
Podkreślić:

System MOKE na poziomie płytki

,

System MOKE 0

,

3 Mdeg

Name: System Moke
Sample Repeatability: Lepsze niż 10 μm
Kerr Angle Resolution: 0,3 MDEG (RMS)
Testing Efficiency: 12 WPH@ ± 1,3 T /9 Witryny Pomiar /200 mm Wafel
EFEM: Fakultatywny
Uptime: 90%
Magnetic Field Uniformity: Lepsze niż ± 1%@φ1 mm
Magnetic Field: Pionowy ± 2,4 t; W płaszczyźnie ± 1,3 t
Magnetic Field Resolution: Regulacja sprzężenia zwrotnego zamkniętej pętli PID, 0,01 MT

Podstawowe właściwości

Nazwa marki: Truth Instruments
Numer modelu: Wafer-Moke

Nieruchomości handlowe

Cena £: Price Negotiable | Contact us for a detailed quote
Warunki płatności: T/t
Opis produktu

MOKE na poziomie wafla do szybkich pętli histerezy i kontroli procesów

Opis produktu:

Przyrząd do pomiaru pętli histerezy na poziomie wafla to najnowocześniejsze narzędzie przeznaczone do nieniszczącego pomiaru pętli histerezy stosów/urządzeń magnetycznych, automatycznego wydobywania informacji z pętli histerezy, w tym Hc, Hex i M (wartość kąta Kerra) warstwy swobodnej i warstwy przypiętej, a także szybkiego mapowania rozkładu charakterystyki magnetycznej wafla.

Dzięki imponującemu czasowi sprawności wynoszącemu 90%, to urządzenie zapewnia niezawodne i spójne działanie dla Twoich potrzeb testowych. Jego zaawansowane funkcje testowe umożliwiają użytkownikom dokładne mierzenie i analizowanie właściwości magnetycznych różnych materiałów z łatwością i wydajnością.

Jedną z kluczowych cech tego instrumentu jest jego wydajność testowania, oferująca wysoką przepustowość 12 WPH przy pomiarze ±1,3 T /9 miejsc/200 mm wafla. Ta wyjątkowa prędkość testowania pozwala na szybkie i precyzyjne gromadzenie danych, co czyni go idealnym do środowisk produkcyjnych o dużej objętości.

Dla dodatkowej elastyczności, instrument oferuje również opcjonalną integrację EFEM (Equipment Front End Module), umożliwiając bezproblemową integrację z istniejącymi systemami przetwarzania wafla.

Przyrząd do pomiaru pętli histerezy na poziomie wafla charakteryzuje się rozdzielczością pola magnetycznego regulacji sprzężenia zwrotnego w pętli zamkniętej PID, zapewniając precyzyjne i dokładne pomiary z rozdzielczością 0,01 MT. Ten poziom precyzji jest kluczowy dla dogłębnej analizy i charakteryzacji materiałów magnetycznych.

Ogólnie rzecz biorąc, to zaawansowane urządzenie jest wszechstronnym rozwiązaniem dla zastosowań magnetometru wafla, pomiarów MOKE (efektu magneto-optycznego Kerra) na poziomie wafla i metrologii spintroniki. Jego innowacyjne funkcje i wysoka wydajność sprawiają, że jest to niezbędne narzędzie dla naukowców i producentów pracujących w dziedzinie materiałów magnetycznych i spintroniki.

 

Cechy:

  • Nazwa produktu: Przyrząd do pomiaru pętli histerezy na poziomie wafla
  • Rozdzielczość kąta Kerra: 0,3 mdeg (RMS)
  • Powtarzalność próbki: Lepsza niż 10 μm
  • Jednolitość pola magnetycznego: Lepsza niż ±1%@Φ1 Mm
  • Wydajność testowania: 12 WPH@±1,3 T /9 pomiarów miejsc/200 Mm Wafer
  • EFEM: Opcjonalny
 

Parametry techniczne:

Funkcje testowania Nieniszczący pomiar pętli histerezy stosów/urządzeń magnetycznych, automatyczne wydobywanie informacji z pętli histerezy (warstwa swobodna i warstwa przypięta Hc, Hex, M (wartość kąta Kerra)) i szybkie mapowanie rozkładu charakterystyki magnetycznej wafla
Czas sprawności 90%
EFEM Opcjonalny
Jednolitość pola magnetycznego Lepsza niż ±1%@Φ1 Mm
Rozdzielczość kąta Kerra 0,3 mdeg (RMS)
Rozmiar próbki Kompatybilny z 12-calowymi i mniejszymi, obsługuje testowanie fragmentów
Pole magnetyczne Pionowe ±2,4 T; w płaszczyźnie ±1,3 T
Wydajność testowania 12 WPH@±1,3 T /9 pomiarów miejsc/200 Mm Wafer
Powtarzalność próbki Lepsza niż 10 μm
Rozdzielczość pola magnetycznego Regulacja sprzężenia zwrotnego w pętli zamkniętej PID, 0,01 MT
 

Zastosowania:

Wafer-MOKE firmy Truth Instruments to najnowocześniejsze narzędzie do metrologii magnetycznej, zaprojektowane do precyzyjnych pomiarów pętli histerezy na magnetycznych waflach z cienką warstwą. Ten innowacyjny instrument, pochodzący z Chin, oferuje niezrównaną dokładność i wydajność w charakteryzowaniu właściwości magnetycznych.

Dzięki Wafer-MOKE naukowcy i producenci mogą wykonywać pomiary pętli histerezy na poziomie wafla w różnych okazjach i scenariuszach zastosowań. Opcjonalna integracja EFEM umożliwia bezproblemową automatyzację i integrację z istniejącymi procesami produkcji półprzewodników, zwiększając produktywność i redukując interwencję manualną.

Jedną z kluczowych cech Wafer-MOKE są jego wszechstronne możliwości pola magnetycznego. Instrument może generować pionowe pola magnetyczne do ±2,4 T i pola magnetyczne w płaszczyźnie do ±1,3 T, zaspokajając szeroki zakres wymagań testowych materiałów magnetycznych. Co więcej, jednolitość pola magnetycznego lepsza niż ±1% przy Φ1 mm zapewnia niezawodne i spójne wyniki pomiarów na całym waflu.

Do globalnej detekcji i kontroli jakości w przemyśle półprzewodników, Wafer-MOKE oferuje wyjątkowy czas sprawności wynoszący 90%, zapewniając ciągłą pracę i minimalny czas przestoju. Ten wysoki procent czasu sprawności jest kluczowy dla spełnienia wymagań produkcyjnych i utrzymania przepustowości w procesach inspekcji magnetycznych wafla.

Ponadto, Wafer-MOKE charakteryzuje się imponującą powtarzalnością próbek, z wynikami lepszymi niż 10 μm. Ten poziom precyzji jest niezbędny dla działań badawczo-rozwojowych, gdzie dokładne i powtarzalne pomiary są najważniejsze.

Ogólnie rzecz biorąc, Truth Instruments Wafer-MOKE to najnowocześniejsze rozwiązanie do inspekcji magnetycznych wafla z cienką warstwą, oferujące niezrównaną wydajność i niezawodność w zastosowaniach metrologii magnetycznej.

Wyślij zapytanie

Szybki cytat