Wafer Seviyesi MOKE Sistemi 0.3 Mdeg Hızlı Hiserez Döngüleri ve Proses Kontrolü İçin

Ürün Açıklaması:

Wafer Seviyesi Hiserez Döngüsü Ölçüm Cihazı, manyetik yığınların/cihazların tahribatsız hiserez döngüsü ölçümü, serbest katman ve sabitlenmiş katman Hc, Hex ve M (Kerr açısı değeri) dahil olmak üzere hiserez döngüsü bilgilerinin otomatik olarak çıkarılması ve wafer manyetik karakteristik dağılımının hızlı haritalanması için tasarlanmış son teknoloji bir araçtır.

Etkileyici %90 çalışma süresi ile bu cihaz, test ihtiyaçlarınız için güvenilir ve tutarlı performans sağlar. Gelişmiş test fonksiyonları, kullanıcıların çeşitli malzemelerin manyetik özelliklerini kolaylıkla ve verimlilikle doğru bir şekilde ölçmelerini ve analiz etmelerini sağlar.

Bu cihazın temel özelliklerinden biri, ±1.3 T /9 konum ölçümü/200 mm wafer'da 12 WPH'lik yüksek bir verim sunan test verimliliğidir. Bu olağanüstü test hızı, hızlı ve hassas veri toplama sağlar ve bu da onu yüksek hacimli üretim ortamları için ideal hale getirir.

Ek esneklik için, cihaz ayrıca mevcut wafer işleme sistemleriyle sorunsuz entegrasyon sağlayan isteğe bağlı bir EFEM (Ekipman Ön Uç Modülü) entegrasyonu sunar.

Wafer Seviyesi Hiserez Döngüsü Ölçüm Cihazı, 0.01 MT çözünürlükle hassas ve doğru ölçümler sağlayan PID kapalı döngü geri besleme düzenlemesi ile manyetik alan çözünürlüğüne sahiptir. Bu hassasiyet düzeyi, manyetik malzemelerin derinlemesine analizi ve karakterizasyonu için çok önemlidir.

Genel olarak, bu gelişmiş cihaz, wafer manyetometre uygulamaları, wafer ölçekli MOKE (Manyeto-Optik Kerr Etkisi) ölçümleri ve spintronik metrologisi için çok yönlü bir çözümdür. Yenilikçi özellikleri ve yüksek performans yetenekleri, onu manyetik malzemeler ve spintronik alanında çalışan araştırmacılar ve üreticiler için vazgeçilmez bir araç haline getirir.

Özellikler:

• Ürün Adı: Wafer Seviyesi Hiserez Döngüsü Ölçüm Cihazı
• Kerr Açısı Çözünürlüğü: 0.3 Mdeg (RMS)
• Numune Tekrarlanabilirliği: 10 μm'den Daha İyi
• Manyetik Alan Düzgünlüğü: Φ1 Mm'de %±1'den Daha İyi
• Test Verimliliği: 12 WPH@±1.3 T /9 Konum Ölçümü/200 Mm Wafer
• EFEM: İsteğe Bağlı

Teknik Parametreler:

Uygulamalar:

Truth Instruments'ın Wafer-MOKE'si, ince film manyetik wafer'larda hassas hiserez döngüsü ölçümleri için tasarlanmış son teknoloji bir manyetik metroloji aracıdır. Çin'den kaynaklanan bu yenilikçi cihaz, manyetik özellikleri karakterize etmede benzersiz bir doğruluk ve verimlilik sunar.

Wafer-MOKE ile araştırmacılar ve üreticiler, çeşitli uygulama durumlarında ve senaryolarında wafer seviyesinde hiserez döngüsü ölçümleri gerçekleştirebilirler. İsteğe bağlı EFEM entegrasyonu, mevcut yarı iletken üretim süreçlerine sorunsuz otomasyon ve entegrasyon sağlayarak üretkenliği artırır ve manuel müdahaleyi azaltır.

Wafer-MOKE'nin temel özelliklerinden biri, çok yönlü manyetik alan yetenekleridir. Cihaz, ±2.4 T'ye kadar dikey manyetik alanlar ve ±1.3 T'ye kadar düzlem içi manyetik alanlar üretebilir ve çok çeşitli manyetik malzeme test gereksinimlerini karşılar. Ayrıca, Φ1 mm'de %±1'den daha iyi manyetik alan düzgünlüğü, wafer genelinde güvenilir ve tutarlı ölçüm sonuçları sağlar.

Yarı iletken endüstrisindeki küresel algılama ve kalite kontrol için Wafer-MOKE, %90'lık olağanüstü bir çalışma süresi sunarak sürekli çalışma ve minimum kesinti sağlar. Bu yüksek çalışma süresi yüzdesi, üretim taleplerini karşılamak ve manyetik wafer inceleme süreçlerinde verimi korumak için çok önemlidir.

Ek olarak, Wafer-MOKE, 10 μm'den daha iyi sonuçlarla etkileyici numune tekrarlanabilirliğine sahiptir. Bu hassasiyet düzeyi, doğru ve tekrarlanabilir ölçümlerin çok önemli olduğu araştırma ve geliştirme faaliyetleri için esastır.

Genel olarak, Truth Instruments Wafer-MOKE, manyetik metroloji uygulamalarında eşsiz performans ve güvenilirlik sunan, ince film manyetik wafer incelemesi için son teknoloji bir çözümdür.